公开(公告)号：CN102679907B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201210178838.0

申请日：2012-06-01

Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院

Inventor： 姚勇 ,  赵勇 ,  孙云旭 ,  盛希晨 ,  陈伯双

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种基于LED光源高精度的微分干涉测量系统及方法，采用LED弱相干光作为照明光源，由于其相干长度短，光束在传播过程中被散射的杂散光在接收屏上不能发生干涉，从而避免了相干噪声或散斑噪声的产生，进而提高了系统的测量精度。LED光源作为照明光源减小了整体系统的封装尺寸，使系统的结构更加紧凑。激光器作为照明光源时，其价格在整个系统中占了相当的比重，而使用廉价的LED作为光源大大的降低了光学测量系统的成本，可实现批量生产。

公开(公告)号：CN102679907A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201210178838.0

申请日：2012-06-01

Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院

Inventor： 姚勇 ,  赵勇 ,  孙云旭 ,  盛希晨 ,  陈伯双

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种基于LED光源高精度的微分干涉测量系统及方法，采用LED弱相干光作为照明光源，由于其相干长度短，光束在传播过程中被散射的杂散光在接收屏上不能发生干涉，从而避免了相干噪声或散斑噪声的产生，进而提高了系统的测量精度。LED光源作为照明光源减小了整体系统的封装尺寸，使系统的结构更加紧凑。激光器作为照明光源时，其价格在整个系统中占了相当的比重，而使用廉价的LED作为光源大大的降低了光学测量系统的成本，可实现批量生产。