公开(公告)号：CN115993795A

公开(公告)日：2023-04-21

申请号：CN202310061747.7

申请日：2023-01-17

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 薛高鹏 ,  钱虹霖 ,  王增义 ,  李兵

IPC: G05B19/042

Abstract: 本发明公开了一种面内二维定位平台的位移反馈控制系统及方法，第一梳齿单元和第二梳齿单元分别包括两组相同且对称设置的梳齿组，面内二维定位平台还包括第一参考电容和第二参考电容，位移反馈控制系统将第一梳齿单元或第二梳齿单元中的其中一组梳齿组作为驱动端，另一组梳齿组作为感测端，在对驱动端施加驱动电压信号后，得到感测端的电流信号和对应的第一参考电容或第二参考电容的参考电流信号，并根据电流信号和参考电流信号得到电流变化量，然后根据电流变化量计算得到感测端所产生的实际位移，再根据实际位移与预期位移的偏差信号更新驱动电压信号。本发明在不增加位移感测结构的前提下，实现了高精度定位功能。

公开(公告)号：CN116381277A

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN202310178281.9

申请日：2023-02-28

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 薛高鹏 ,  王增义 ,  钱虹霖 ,  代浩天 ,  李兵

IPC: G01Q60/08 ,  G01Q60/54 ,  G01Q60/52 ,  G01Q60/24 ,  G01Q60/38 ,  G01R33/48 ,  G01R3/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  C03C27/00 ,  C30B33/08

Abstract: 本发明公开了一种磁性悬臂梁传感器及其制作方法和一种显微成像系统，该磁性悬臂梁传感器包括玻璃基底、硅基悬臂梁、磁体、吸气单元和硅基盖体，其中玻璃基底上设有相连通的第一腔室和第二腔室，第二腔室位于第一腔室的底部，硅基悬臂梁的固定端固定连接在玻璃基底的第一腔室的底部，磁体固定连接在硅基悬臂梁的自由端，磁体的高度和硅基悬臂梁的厚度之和小于第一腔室的深度，吸气单元置于第二腔室内，硅基盖体固定连接在玻璃基体位于第一腔室上方的开口端，且硅基盖体上开设有感测窗口，感测窗口位于磁体的上方。本发明能够在拥有高真空环境的基础上具备更高的探测灵敏度。

公开(公告)号：CN116026219A

公开(公告)日：2023-04-28

申请号：CN202310061904.4

申请日：2023-01-17

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 薛高鹏 ,  王增义 ,  钱虹霖 ,  李兵

IPC: G01B7/02 ,  G01B21/20

Abstract: 本发明公开了一种三维扫描位移平台，包括静电驱动式的面内二维定位平台、压电致动组件和固定边框，所述压电致动组件包括偶数个压电致动单元，所述压电致动单元通过在硅基底上设置压电薄膜片形成，各个所述压电致动单元的一端连接在所述面内二维定位平台的外边缘处，另一端连接在所述固定边框的内边缘处，且偶数个所述压电致动单元以所述面内二维定位平台在第一方向和/或第二方向的中心线对称设置，所述第一方向和所述第二方向相互垂直。本发明提出的三维扫描位移平台，各轴方向的运动具有非耦合性，解决了三维方向运动串扰问题，且面外方向可产生大位移行程。

公开(公告)号：CN116333880A

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202310178280.4

申请日：2023-02-28

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 薛高鹏 ,  代浩天 ,  钱虹霖 ,  王增义 ,  李兵

IPC: C12M3/00 ,  C12M1/00 ,  B01L3/00

Abstract: 本发明公开了一种单细胞捕获微流控芯片装置及其制作方法和相关组件，该单细胞捕获微流控芯片装置，包括玻璃基底和硅基盖体，玻璃基底上开设凹槽以形成主流道和侧流道，凹槽上设有流入口和流出口，凹槽的深度、主流道的宽度和侧流道的宽度均大于细胞的直径，主流道和侧流道分别设置于流入口和流出口之间，其中主流道为直线型的流道，侧流道为非直线型的流道，在主流道上凸出设置有捕获单元以用于捕获细胞，硅基盖体固定连接在玻璃基底位于凹槽的开口端，且硅基盖体上开设有感测窗口，感测窗口位于主流道和侧流道的上方。本发明能够隔离真空环境，保持细胞活性，利于观察与检测。