公开(公告)号：CN100511747C

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200610151114.1

申请日：2006-12-08

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 荣伟彬 ,  孙立宁 ,  邹翾 ,  徐敏

IPC: H01L41/107 ,  H02N2/00

Abstract: 本发明涉及的是一种基于电压与电流复合控制的压电陶瓷驱动电源。它包括压电陶瓷Z、连接于压电陶瓷两端的高压运算放大器A1和内外环复合控制电路，其中内环通过在压电陶瓷Z上串接反馈电阻R1构成电流控制环，外环通过运算放大器A2、电阻R2及连接于R2和A1输出端间的相互并联的可调电阻R4、可调电容C1构成比例积分控制器，实现外环的电压反馈。对压电陶瓷驱动电源进行测试，施加控制电压对压电陶瓷充电一段时间，以固定周期检测压电陶瓷的位移量，测得基于复合控制的压电陶瓷在范围是0-10μm时，最大带宽2.5kHz，最小稳定频率0.1Hz。开环阶跃响最小稳定时间为小于1ms，最小定位误差小于4nm。

公开(公告)号：CN1988197A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：CN200610151114.1

申请日：2006-12-08

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 荣伟彬 ,  孙立宁 ,  邹翾 ,  徐敏

IPC: H01L41/107 ,  H02N2/00

Abstract: 本发明涉及的是一种基于电压与电流复合控制的压电陶瓷驱动电源。它包括压电陶瓷Z、连接于压电陶瓷两端的高压运算放大器A1和内外环复合控制电路，其中内环通过在压电陶瓷Z上串接反馈电阻R1构成电流控制环，外环通过运算放大器A2、电阻R2及连接于R2和A1输出端间的相互并联的可调电阻R4、可调电容C1构成比例积分控制器，实现外环的电压反馈。对压电陶瓷驱动电源进行测试，施加控制电压对压电陶瓷充电一段时间，以固定周期检测压电陶瓷的位移量，测得基于复合控制的压电陶瓷在范围是0－10μm时，最大带宽2.5kHz，最小稳定频率0.1Hz。开环阶跃响最小稳定时间为小于1ms，最小定位误差小于4nm。