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公开(公告)号：CN118175716A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410421004.0
申请日：2024-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 一种参数可调的亚波长薄层等离子体发生装置及其使用方法，涉及等离子体发生技术领域。解决现有等离子体发生装置受限于上述几何尺寸、电子密度、背景气压的多重限制的问题。装置包括真空系统、放电系统、进气系统和诊断系统；所述真空系统用于提供真空腔体；所述放电系统包括功率电极和接电电极；功率电极和接电电极分别设置在真空系统的顶部和底部，用于实现放电产生等离子体；所述进气系统与所述功率电极底端的进气环连接，用于为所述真空系统提供进气功能；所述诊断系统用于对产生的等离子体进行微波诊断及等离子体诊断。本发明适用于亚大气压、亚波长、强碰撞等离子体发生装置。
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