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公开(公告)号:CN106814446A
公开(公告)日:2017-06-09
申请号:CN201710036109.4
申请日:2017-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G02B21/0036 , G02B21/06
Abstract: 本发明回转定孔式运动扫描装置属于显微测量技术领域,具体涉及一种用于椭球反射照明显微测量装置中的扫描机构;该装置由移动机构和固定在旋转机构上的旋转机构组成;所述移动机构由电机、丝杠、滑块、限位器和挡光片组成;所述旋转机构由光阑、驱动光阑在其所在平面内转动的旋转台和底座组成;通过改变电机的参数,使挡光片上的小孔停留在扇形开口的任意位置处,从而改变径向照明角度;通过改变旋转台的参数,使扇形开口停留在任意方向,从而改变轴向照明角度;本发明回转定孔式运动扫描装置,针对椭球反射照明显微测量装置的特殊结构,提供了一种能够置于显微测量装置内部的扫描机构,实现了径向30至120度的扫描范围以及轴向360度的扫描范围。