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公开(公告)号：CN104897048B
公开(公告)日：2018-02-27
申请号：CN201510341863.X
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 无正交误差的单路线偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过一个四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生单路偏振方向正交、光路重合的线偏振参考光和线偏振测量光，探测部分参考光和测量光通过两个绕光束空间旋转角度成特定关系的渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明采用较少的光学元件实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104990619B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510338682.1
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 基于双声光调制和消偏振分光的抗偏振混叠迈克尔逊外差激光测振仪属于激光干涉测量领域；采用消偏振分光镜NBS分光形成参考臂和测量臂，参考臂上和测量臂上的入射光束均经过声光调制器发生衍射，移频的一级衍射光通过光束折转元件调整，使光束传播方向平行于入射光束；通过调整角锥棱镜使反射光位于声光调制器上方，从而使测量光和参考光均只经过一次声光调制器，调节参考角锥棱镜和测量角锥棱镜使参考光和测量光再次经过消偏振分光镜NBS时光束重合，并发生干涉；本发明采用较少的光学元件实现了外差激光干涉测量，光路调整简单，可有效解决现有技术方案中存在偏振泄漏与偏振混叠、光路调整复杂等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104897271A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510340370.4
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 抗偏振混叠的单路线偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过二分之一波片、四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生单路偏振方向正交且为±45°、光路重合的线偏振参考光和线偏振测量光，探测部分参考光和测量光分光后经同一个渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明可实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104897271B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201510340370.4
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 抗偏振混叠的单路线偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过二分之一波片、四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生单路偏振方向正交且为±45°、光路重合的线偏振参考光和线偏振测量光，探测部分参考光和测量光分光后经同一个渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明可实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104990619A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201510338682.1
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 基于双声光调制和消偏振分光的抗偏振混叠迈克尔逊外差激光测振仪属于激光干涉测量领域；采用消偏振分光镜NBS分光形成参考臂和测量臂，参考臂上和测量臂上的入射光束均经过声光调制器发生衍射，移频的一级衍射光通过光束折转元件调整，使光束传播方向平行于入射光束；通过调整角锥棱镜使反射光位于声光调制器上方，从而使测量光和参考光均只经过一次声光调制器，调节参考角锥棱镜和测量角锥棱镜使参考光和测量光再次经过消偏振分光镜NBS时光束重合，并发生干涉；本发明采用较少的光学元件实现了外差激光干涉测量，光路调整简单，可有效解决现有技术方案中存在偏振泄漏与偏振混叠、光路调整复杂等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104897048A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510341863.X
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 无正交误差的单路线偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过一个四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生单路偏振方向正交、光路重合的线偏振参考光和线偏振测量光，探测部分参考光和测量光通过两个绕光束空间旋转角度成特定关系的渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明采用较少的光学元件实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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