公开(公告)号：CN117500136A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202311358481.9

申请日：2023-10-19

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 金成刚 ,  王子齐 ,  杨济华 ,  赵虹桥 ,  杨艺 ,  田树棨 ,  刘文志 ,  刘长雁 ,  李精华 ,  程江南 ,  万杰

IPC: H05H1/46 ,  H05H1/02

Abstract: 本发明提供了一种高效产生大体积ECR等离子体装置，所述ECR等离子体装置包括微波源、磁场线圈、微波传输系统和辅助系统，所述微波源产生的微波经微波传输系统馈入真空室中的磁场产生等离子体；所述辅助系统包括供电系统、水冷系统、检测保护系统、支撑运动系统和控制系统，供电系统与外部电源、微波源和磁场线圈连接，水冷系统与外部供水系统和微波源连接，检测保护系统负责检测微波产生和传输过程中可能出现的打火现象并且可以控制关停微波源，支撑运动系统负责调节馈入位置和角度，控制系统控制信号采集、信号输出和微波馈入角度、位置。本发明的ECR等离子体装置能量耦合效率高，产生等离子体的区域大，可以产生高密度大体积等离子体。