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公开(公告)号：CN110455656B
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN201910789388.0
申请日：2019-08-26
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种精密作动/感知双模式一体化的微机械梳齿结构及检测方法，属于微机械电子系统领域。包括绝缘体上硅三明治结构，主体器件层由探针、多组接线端子、两组横向静电梳齿结构、两组法向静电梳齿结构I、两组法向静电梳齿结构II和多组弹簧结构组成，静电梳齿结构均由动极板和静极板交互叠加排列而成，动极板与探针构成动子，通过多组弹簧结构与定子相连。优点在于：基于静电驱动与电容检测原理，通过不同极板参数设计的静电梳齿结构，可实现双模式的纳米压痕/划痕测试，具有灵敏度高、可实现连续刚度测试等优点，在生物微机械操作等诸多领域也具有良好的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110455656A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201910789388.0
申请日：2019-08-26
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种精密作动/感知双模式一体化的微机械梳齿结构及检测方法，属于微机械电子系统领域。包括绝缘体上硅三明治结构，主体器件层由探针、多组接线端子、两组横向静电梳齿结构、两组法向静电梳齿结构I、两组法向静电梳齿结构II和多组弹簧结构组成，静电梳齿结构均由动极板和静极板交互叠加排列而成，动极板与探针构成动子，通过多组弹簧结构与定子相连。优点在于：基于静电驱动与电容检测原理，通过不同极板参数设计的静电梳齿结构，可实现双模式的纳米压痕/划痕测试，具有灵敏度高、可实现连续刚度测试等优点，在生物微机械操作等诸多领域也具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN110470555B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201910789670.9
申请日：2019-08-26
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种低温微纳米压痕测试系统的非真空氛围式制冷系统，属于制冷技术领域。包括制冷蒸汽发生单元、真空/氛围腔室单元、低温氛围制冷腔室单元、压入深度在线溯源单元和微纳米压痕加载与检测单元。本发明以低温氛围制冷腔室单元为基础，结合制冷蒸汽发生单元、真空/氛围腔室单元，实现非真空氛围制冷环境的构建，通过这种方式对样品与压头同时制冷，以削弱“温漂”对压痕测试精度的影响。同时能够兼容压入深度在线溯源单元，用于实现低温环境下压入深度的精密测量以及微纳米压痕加载与检测单元压入深度传感器的在线溯源校准等功能扩展，为开发研制低温微纳米压痕测试系统提供稳态的低温加载环境。
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公开(公告)号：CN110470555A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201910789670.9
申请日：2019-08-26
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种低温微纳米压痕测试系统的非真空氛围式制冷系统，属于制冷技术领域。包括制冷蒸汽发生单元、真空/氛围腔室单元、低温氛围制冷腔室单元、压入深度在线溯源单元和微纳米压痕加载与检测单元。本发明以低温氛围制冷腔室单元为基础，结合制冷蒸汽发生单元、真空/氛围腔室单元，实现非真空氛围制冷环境的构建，通过这种方式对样品与压头同时制冷，以削弱“温漂”对压痕测试精度的影响。同时能够兼容压入深度在线溯源单元，用于实现低温环境下压入深度的精密测量以及微纳米压痕加载与检测单元压入深度传感器的在线溯源校准等功能扩展，为开发研制低温微纳米压痕测试系统提供稳态的低温加载环境。
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公开(公告)号：CN210665359U
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201921391317.7
申请日：2019-08-26
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本实用新型涉及一种低温微纳米压痕测试系统的非真空氛围式制冷系统，属于制冷技术领域。包括制冷蒸汽发生单元、真空/氛围腔室单元、低温氛围制冷腔室单元、压入深度在线溯源单元和微纳米压痕加载与检测单元。以低温氛围制冷腔室单元为基础，结合制冷蒸汽发生单元、真空/氛围腔室单元，实现非真空氛围制冷环境的构建，通过这种方式对样品与压头同时制冷，以削弱“温漂”对压痕测试精度的影响。同时能够兼容压入深度在线溯源单元，用于实现低温环境下压入深度的精密测量以及微纳米压痕加载与检测单元压入深度传感器的在线溯源校准等功能扩展，为开发研制低温微纳米压痕测试系统提供稳态的低温加载环境。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN210665355U
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201921390904.4
申请日：2019-08-26
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本实用新型涉及一种精密作动/感知双模式一体化的微机械梳齿结构，属于微机械电子系统领域。包括绝缘体上硅三明治结构，主体器件层由探针、多组接线端子、两组横向静电梳齿结构、两组法向静电梳齿结构I、两组法向静电梳齿结构II和多组弹簧结构组成，静电梳齿结构均由动极板和静极板交互叠加排列而成，动极板与探针构成动子，通过多组弹簧结构与定子相连。优点在于：基于静电驱动与电容检测原理，通过不同极板参数设计的静电梳齿结构，可实现双模式的纳米压痕/划痕测试，具有灵敏度高、可实现连续刚度测试等优点，在生物微机械操作等诸多领域也具有良好的应用前景。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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