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公开(公告)号：CN101073036A
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN200580042324.0
申请日：2005-12-07
Applicant: 可隆株式会社
IPC: G03F7/022
CPC classification number: G03F7/022 , G03F7/0007 , G03F7/0226 , G03F7/0233
Abstract: 正型光致抗蚀剂树脂膜包含载体膜和层压在所述载体膜上面的正型光致抗蚀剂树脂层。所述载体膜的峰高(Rp)小于约300nm以消除鱼眼缺陷。所述正型光致抗蚀剂树脂层可以包含碱溶性树脂、重氮化物基光敏化合物、增塑剂以及任选的灵敏度增强剂和释放剂。
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公开(公告)号：CN101073035B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN200580042323.6
申请日：2005-12-07
Applicant: 可隆株式会社
IPC: G03F7/022
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/022 , G03F7/0226 , G03F7/0236 , G03F7/09
Abstract: 正型光致抗蚀剂树脂膜包含载体膜和层压在所述载体膜上面的热固性正型光致抗蚀剂树脂层。所述正型光致抗蚀剂树脂层包含碱溶性树脂、重氮化物基光敏化合物和灵敏度增强剂。所述载体膜具有抑制缺陷结构如鱼眼的形成的表面粗糙度。本发明克服了加工的低效率和由旋涂光致抗蚀剂的技术导致的缺陷。
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公开(公告)号：CN101073035A
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN200580042323.6
申请日：2005-12-07
Applicant: 可隆株式会社
IPC: G03F7/022
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/022 , G03F7/0226 , G03F7/0236 , G03F7/09
Abstract: 正型光致抗蚀剂树脂膜包含载体膜和层压在所述载体膜上面的热固性正型光致抗蚀剂树脂层。所述正型光致抗蚀剂树脂层包含碱溶性树脂、重氮化物基光敏化合物和灵敏度增强剂。所述载体膜具有抑制缺陷结构如鱼眼的形成的表面粗糙度。本发明克服了加工的低效率和由旋涂光致抗蚀剂的技术导致的缺陷。
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公开(公告)号：CN101073036B
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN200580042324.0
申请日：2005-12-07
Applicant: 可隆株式会社
IPC: G03F7/022
CPC classification number: G03F7/022 , G03F7/0007 , G03F7/0226 , G03F7/0233
Abstract: 正型光致抗蚀剂树脂膜包含载体膜和层压在所述载体膜上面的正型光致抗蚀剂树脂层。所述载体膜的峰高(Rp)小于约300nm以消除鱼眼缺陷。所述正型光致抗蚀剂树脂层可以包含碱溶性树脂、重氮化物基光敏化合物、增塑剂以及任选的灵敏度增强剂和释放剂。
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