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公开(公告)号:CN101111803B
公开(公告)日:2011-07-20
申请号:CN200680003673.6
申请日:2006-02-01
Applicant: 可隆株式会社
IPC: G03F7/022
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0048 , G03F7/0236
Abstract: 正性型光致抗蚀剂树脂膜包含支持膜和层叠在所述支持膜上的正性光致抗蚀剂树脂层。所述光致抗蚀剂层可以由包含树脂、光敏化合物和第一溶剂的组合物形成,其中第一溶剂具有足够高的沸点,以使通过加热可以将第二溶剂从所述组合物中除去,同时将第一溶剂基本上留在所述组合物中。
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公开(公告)号:CN101111798A
公开(公告)日:2008-01-23
申请号:CN200680003671.7
申请日:2006-02-01
Applicant: 可隆株式会社
IPC: G02F1/136
CPC classification number: G03F7/161 , G02F1/1362 , G02F2001/136231 , G03F7/0048 , G03F7/022 , H01L27/12 , H01L27/3244 , H01L2227/326
Abstract: 一种显示器用阵列通过如下步骤形成:将在支持膜上具有正性光致抗蚀剂树脂层的正性干膜抗蚀剂粘附到衬底上,使得光致抗蚀剂树脂层粘附在所述衬底的表面上。然后,将所述支持膜从粘附到所述衬底表面的光致抗蚀剂树脂层上释放;将所述层曝光;以及将在所述正性型光致抗蚀剂树脂层中的曝光区域显影并除去。
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公开(公告)号:CN100565310C
公开(公告)日:2009-12-02
申请号:CN200680003671.7
申请日:2006-02-01
Applicant: 可隆株式会社
IPC: G02F1/136
CPC classification number: G03F7/161 , G02F1/1362 , G02F2001/136231 , G03F7/0048 , G03F7/022 , H01L27/12 , H01L27/3244 , H01L2227/326
Abstract: 一种显示器用阵列通过如下步骤形成:将在支持膜上具有正性光致抗蚀剂树脂层的正性干膜抗蚀剂粘附到衬底上,使得光致抗蚀剂树脂层粘附在所述衬底的表面上。然后,将所述支持膜从粘附到所述衬底表面的光致抗蚀剂树脂层上释放;将所述层曝光;以及将在所述正性型光致抗蚀剂树脂层中的曝光区域显影并除去。
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公开(公告)号:CN101111803A
公开(公告)日:2008-01-23
申请号:CN200680003673.6
申请日:2006-02-01
Applicant: 可隆株式会社
IPC: G03F7/022
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0048 , G03F7/0236
Abstract: 正性型光致抗蚀剂树脂膜包含支持膜和层叠在所述支持膜上的正性光致抗蚀剂树脂层。所述光致抗蚀剂层可以由包含树脂、光敏化合物和第一溶剂的组合物形成,其中第一溶剂具有足够高的沸点,以使通过加热可以将第二溶剂从所述组合物中除去,同时将第一溶剂基本上留在所述组合物中。
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