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公开(公告)号:CN113074215A
公开(公告)日:2021-07-06
申请号:CN202110338812.7
申请日:2021-03-30
Applicant: 厦门大学
IPC: F16F15/02
Abstract: 本发明涉及一种高稳定性的STM测量装置,包含安装座、电动缸、探针、连接件、控制系统、测量回路;所述探针通过压电陶瓷设置于所述探针安装座并且所述探针朝向所述电动缸安装座;所述连接件包含固接于所述电动缸安装座的直线轴承,所述电动缸的输出轴通过连接座连接有连接杆,所述连接杆穿过所述直线轴承,所述连接杆的末端设置有基底安装座,所述连接杆包含外套筒和内套轴,所述内套轴由若干分轴组成,从下往上的所述分轴的直径依次减小,所述分轴在其底端的两侧分别设置有凸起部,所述外套筒对应所述凸起部的位置对应填充有阻尼块;所述控制系统电连接所述压电陶瓷,用于输出电压并驱动所述压电陶瓷产生形变从而带动探针上下运动。
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公开(公告)号:CN112362954B
公开(公告)日:2023-12-22
申请号:CN202010955899.8
申请日:2020-09-11
IPC: G01R19/25
Abstract: 本发明涉及一种基于皮安级双通道放大器的微电流自动检测系统,包含:输入端,用于输入待检测微电流;线性放大模块和对数放大模块,所述线性放大模块用于线性放大所述待检测微电流,所述对数放大模块用于对数放大所述待检测微电流;切换模块,连接于输入端,用于在所述线性放大模块和所述对数放大模块之间进行切换;控制单元,连接所述线性放大模块和所述对数放大模块和所述切换模块,用于对所述切换模块提供控制信号,并读取所述线性放大模块和所述对数放大模块的放大数据,输出有效数据。本发明可以实现宽量程的电流精准检测,本发明通过线性放大模块和对数放大模块,实现对不同范围的电流采用不同的放大模式,实现宽量程。
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公开(公告)号:CN113074215B
公开(公告)日:2022-04-26
申请号:CN202110338812.7
申请日:2021-03-30
Applicant: 厦门大学
IPC: F16F15/02
Abstract: 本发明涉及一种高稳定性的STM测量装置,包含安装座、电动缸、探针、连接件、控制系统、测量回路;所述探针通过压电陶瓷设置于所述探针安装座并且所述探针朝向所述电动缸安装座;所述连接件包含固接于所述电动缸安装座的直线轴承,所述电动缸的输出轴通过连接座连接有连接杆,所述连接杆穿过所述直线轴承,所述连接杆的末端设置有基底安装座,所述连接杆包含外套筒和内套轴,所述内套轴由若干分轴组成,从下往上的所述分轴的直径依次减小,所述分轴在其底端的两侧分别设置有凸起部,所述外套筒对应所述凸起部的位置对应填充有阻尼块;所述控制系统电连接所述压电陶瓷,用于输出电压并驱动所述压电陶瓷产生形变从而带动探针上下运动。
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公开(公告)号:CN112362954A
公开(公告)日:2021-02-12
申请号:CN202010955899.8
申请日:2020-09-11
IPC: G01R19/25
Abstract: 本发明涉及一种基于皮安级双通道放大器的微电流自动检测系统,包含:输入端,用于输入待检测微电流;线性放大模块和对数放大模块,所述线性放大模块用于线性放大所述待检测微电流,所述对数放大模块用于对数放大所述待检测微电流;切换模块,连接于输入端,用于在所述线性放大模块和所述对数放大模块之间进行切换;控制单元,连接所述线性放大模块和所述对数放大模块和所述切换模块,用于对所述切换模块提供控制信号,并读取所述线性放大模块和所述对数放大模块的放大数据,输出有效数据。本发明可以实现宽量程的电流精准检测,本发明通过线性放大模块和对数放大模块,实现对不同范围的电流采用不同的放大模式,实现宽量程。
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公开(公告)号:CN214473464U
公开(公告)日:2021-10-22
申请号:CN202120640784.X
申请日:2021-03-30
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本实用新型涉及一种一体化STM测试装置,包含金属壳体、电动缸、探针、控制系统,所述金属壳体包含底座、上盖以及侧挡板,所述侧挡板设置有可启闭的门体,所述底座设置有电动缸安装座,所述上盖设置有探针安装座;所述探针通过压电陶瓷设置于所述探针安装座并且所述探针朝向所述电动缸安装座;所述电动缸设置于所述电动缸安装座的下侧,所述电动缸安装座设置有直线轴承,所述电动缸的输出轴通过光轴连接件连接有光轴,所述光轴穿过所述直线轴承,所述光轴设置有基底安装座;所述控制系统电连接所述压电陶瓷,用于输出电压并驱动所述压电陶瓷产生形变从而带动探针上下运动。
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公开(公告)号:CN214427469U
公开(公告)日:2021-10-19
申请号:CN202120604889.X
申请日:2021-03-25
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本实用新型涉及一种带法拉第屏蔽的STM测量装置,包含:安装底座,所述安装底座在其上端面设置连通孔,所述安装底座设置有窗口;门体,轨道连接于所述安装底座,所述门体设置有遮挡部和开放部,移动所述门体可将所述遮挡部遮挡于所述窗口;电动缸,设置于所述安装底座的上端面,且所述电动缸的伸缩轴穿过所述连通孔延伸至所述安装底座的内部;探针,连接于所述伸缩轴并跟随所述伸缩轴运动;基底底座,锁紧设置于所述安装底座内对应所述探针的位置;测量回路,连接于所述探针和所述基底底座之间。
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