一种电泵浦光学陀螺及其制备方法

    公开(公告)号:CN113418519B

    公开(公告)日:2022-11-29

    申请号:CN202110643418.4

    申请日:2021-06-09

    Abstract: 本发明公开了一种电泵浦光学陀螺及其制备方法,包括:探测器、外形波导和光学陀螺;外形波导包括从上至下依次设置的第一p型磷化铟层、第一量子阱层和n型磷化铟层,第一p型磷化铟层和第一量子阱层为渐变式结构;探测器包括探测器正电极和探测器负电极;光学陀螺包括从上至下依次设置的环形电极、第二量子阱层和第二p型磷化铟层。优点:本发明的外形波导采用了渐变设计,便于产生的激光在波导中的传输,降低了光学损耗。本发明采用了磷化铟外延片,并在刻蚀完成后,用饱和溴水对侧壁进行了光滑修饰,这样易于光学陀螺中产生更好的激光。

    一种电泵加速度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113624992A

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202110847839.9

    申请日:2021-07-27

    Abstract: 本发明公开了一种电泵加速度传感器及其制备方法,所述加速度传感器包括质量块和悬空波导结构,质量块设置在悬空波导结构的中间位置;悬空波导结构包括从下到上依次设置的硅衬底层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、p型电极和n型电极,其中,量子阱层设置在n型氮化镓层上表面的一侧,硅衬底层支撑u型氮化镓层下方的两端。所述制备方法在硅衬底氮化物外延片上,利用光刻、ICP干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺制备悬空波导结构的氮化物微腔。本发明将光源与传感器件聚焦在一个氮化镓的悬空波导光学谐振腔上,制备的加速度传感器可以进行高密度的光电集成,具有更高的分辨率和灵敏度。

    一种基于BCI的飞行器控制系统

    公开(公告)号:CN107065909A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710251301.5

    申请日:2017-04-18

    CPC classification number: G05D1/0808 G05D1/101

    Abstract: 本发明公开了一种基于BCI的飞行器控制系统,包括脑电采集装置、便携式脑电信号处理控制器和四旋翼飞行器。脑电采集装置包括开源脑电波设备、串口通信模块,当使用者发出某种命令时,脑电信号会被传送至便携式脑电信号处理控制器。便携式脑电信号处理控制器包括Linux嵌入式处理器、无线通信模块,当Linux嵌入式处理器接收到脑电信号并识别出相应指令后,通过无线传输模块将命令发送给四旋翼飞行器。四旋翼飞行器设有飞行控制器、姿态传感器,飞行控制器通过无线端口接收相应命令并控制飞行器产生指定动作,并利用姿态传感器反馈姿态进行校正。本系统适用于航拍、救援、娱乐等应用场景,有助于简化四旋翼飞行器的飞行控制和减少意外坠机事故。

    一种电泵加速度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113624992B

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202110847839.9

    申请日:2021-07-27

    Abstract: 本发明公开了一种电泵加速度传感器及其制备方法,所述加速度传感器包括质量块和悬空波导结构,质量块设置在悬空波导结构的中间位置;悬空波导结构包括从下到上依次设置的硅衬底层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、p型电极和n型电极,其中,量子阱层设置在n型氮化镓层上表面的一侧,硅衬底层支撑u型氮化镓层下方的两端。所述制备方法在硅衬底氮化物外延片上,利用光刻、ICP干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺制备悬空波导结构的氮化物微腔。本发明将光源与传感器件聚焦在一个氮化镓的悬空波导光学谐振腔上,制备的加速度传感器可以进行高密度的光电集成,具有更高的分辨率和灵敏度。

    一种电泵浦光学陀螺及其制备方法

    公开(公告)号:CN113418519A

    公开(公告)日:2021-09-21

    申请号:CN202110643418.4

    申请日:2021-06-09

    Abstract: 本发明公开了一种电泵浦光学陀螺及其制备方法,包括:探测器、外形波导和光学陀螺;外形波导包括从上至下依次设置的第一p型磷化铟层、第一量子阱层和n型磷化铟层,第一p型磷化铟层和第一量子阱层为渐变式结构;探测器包括探测器正电极和探测器负电极;光学陀螺包括从上至下依次设置的环形电极、第二量子阱层和第二p型磷化铟层。优点:本发明的外形波导采用了渐变设计,便于产生的激光在波导中的传输,降低了光学损耗。本发明采用了磷化铟外延片,并在刻蚀完成后,用饱和溴水对侧壁进行了光滑修饰,这样易于光学陀螺中产生更好的激光。

    一种基于BCI的飞行器控制系统

    公开(公告)号:CN207529230U

    公开(公告)日:2018-06-22

    申请号:CN201720405541.1

    申请日:2017-04-18

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于BCI的飞行器控制系统,包括脑电采集装置、便携式脑电信号处理控制器和四旋翼飞行器。脑电采集装置包括开源脑电波设备、串口通信模块,当使用者发出某种命令时,相应脑电信号会被传送至便携式处理控制器。便携式脑电信号处理控制器包括Linux嵌入式处理器、无线通信模块,当Linux嵌入式处理器接收到脑电信号并识别出相应指令后,通过无线传输模块将命令发送给四旋翼飞行器。四旋翼飞行器设有飞行控制器、姿态传感器,飞行控制器通过无线端口接收相应命令并控制飞行器产生指定动作,并利用姿态传感器反馈姿态进行校正。本系统适用于航拍、救援、娱乐等应用场景,有助于简化四旋翼飞行器的飞行控制和减少意外坠机事故。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

Patent Agency Ranking