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公开(公告)号：CN103743783A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201410007381.6
申请日：2014-01-08
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了基于MEMS芯片的露点检测装置，属于大气检测的技术领域。露点检测装置包括：散热片，固定在散热片上的制冷机，贴合在制冷机上表面的镜面，通过微机械工艺加工在镜面上方透明板阵列，透明板阵列与镜面之间的支撑物，所述透明板阵列、支撑物均为高导热材料，使透明板和镜面温度一致，从而透明板在镜面结露的同时也结露；透明板结露使反射光在光通路上有更多的衰减，有利于反射光信号的变化幅度增加，提高了露点检测仪的灵敏度和响应速度。
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