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公开(公告)号:CN204855052U
公开(公告)日:2015-12-09
申请号:CN201520348648.8
申请日:2015-05-26
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于硅玻璃静电键合应力的干涉测量系统,包括一个He-Ne激光器作为光源,一个泰曼-格林干涉系统用于产生干涉条纹,一个压电陶瓷(PZT)移相装置,一个CMOS相机采集干涉条纹并送到计算机进行处理。本干涉测量系统可以完成微机械器件力学性能的非接触测量,具有灵敏度高、空间分辨率高、条纹质量好、量程大、可实时观测等优点,能实现MEMS工艺静电键合时器件形变和应力等可靠性测试。
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公开(公告)号:CN217278976U
公开(公告)日:2022-08-23
申请号:CN202221269257.3
申请日:2022-05-24
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01V7/02
Abstract: 本实用新型公开了中高层大气探测技术领域的一种基于LCTF与光纤光锥技术的多波段重力波成像仪,所述多波段重力波成像仪包括为南北向大视场重力波成像模块和东西向大视场重力波成像模块。本实用新型多波段重力波成像仪可以以大视场角对重力波进行夜晚的连续观测,从而量化波场特征并观察气候变化趋势;使用了液晶可调谐带通滤光器,实现对重力波在可见光范围内的多波段探测;使用的液晶可调谐带通滤光器具有一个温控外壳,可以自动调节温度,保证了滤光片的恒温;不需要外加温控系统,这使得仪器结构更加紧凑,体积更小,重量减轻,方便携带,易于后期运用维修,适用于野外长期无人观测。
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