公开(公告)号：CN112781526A

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN202011604386.9

申请日：2020-12-29

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  肖泽帧 ,  张一 ,  程方 ,  王寅 ,  尚文键 ,  张雅丽 ,  邹景武 ,  王翀 ,  董声超 ,  陈涛

IPC: G01B11/25

Abstract: 本发明涉及一种并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统与方法，该系统包括并行彩色共聚焦测量系统和能对测量数据进行误差补偿的数据处理系统。并行彩色共聚焦测量系统包括复色光源、准直透镜、色散管镜、数字微镜器件、分光模块、载物模块和彩色相机。复色光源发出的单束光依次透过准直透镜和色散管镜到达数字微镜器件中，反馈出光点阵列通过分光模块照射在载物模块，被载物模块反射后的光点阵列再次透过分光模块进入彩色相机中，通过彩色相机传输到数据处理系统。本发明通过对光轴外的光色散数据的分析补偿，可以消除由于轴外光色散引起的系统误差，解决并行彩色共聚焦系统轴外光色散优化问题，提高测量精度。

公开(公告)号：CN213714231U

公开(公告)日：2021-07-16

申请号：CN202023275536.4

申请日：2020-12-29

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  张一 ,  肖泽帧 ,  程方 ,  王寅 ,  尚文键 ,  张雅丽 ,  邹景武 ,  王翀 ,  董声超 ,  陈涛

IPC: G01B11/25

Abstract: 本实用新型涉及一种并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统，该系统包括并行彩色共聚焦测量系统和能对测量数据进行误差补偿的数据处理系统。并行彩色共聚焦测量系统包括复色光源、准直透镜、色散管镜、数字微镜器件、分光模块、载物模块和彩色相机。复色光源发出的单束光依次透过准直透镜和色散管镜到达数字微镜器件中，反馈出光点阵列通过分光模块照射在载物模块，被载物模块反射后的光点阵列再次透过分光模块进入彩色相机中，通过彩色相机传输到数据处理系统。本实用新型通过对光轴外的光色散数据的分析补偿，可以消除由于轴外光色散引起的系统误差，解决并行彩色共聚焦系统轴外光色散优化问题，提高测量精度。