-
公开(公告)号：CN108961233A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810691154.8
申请日：2018-06-28
Applicant: 华侨大学
CPC classification number: G06T7/0004 , G06K9/6256 , G06K9/6269 , G06T2207/10004 , G06T2207/20081 , G06T2207/30132 , G06T2207/30168
Abstract: 本发明公开了一种聚晶金刚石复合片表面缺陷分类识别方法，本发明解决了人工检测主观性强、效率低、分类结果的精确性和可靠性无法保障等问题，可实现聚晶金刚石复合片表面裂纹、白点、白边三种缺陷高效率、高精度、自动化的分类识别。
-
公开(公告)号：CN110530799A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910721403.8
申请日：2019-08-06
Applicant: 华侨大学
IPC: G01N21/21
Abstract: 本发明公开了一种晶圆最大加工损伤的精准定位方法，在晶圆的非加工面沉积用于辅助测量的薄膜层，非加工面与加工面相互平行且呈背向设置，非加工面为光滑无损表面；再在晶圆的加工面进行至少一道减薄加工操作，并在每一道减薄加工操作之前后，将椭偏仪的入射光以设定的入射角扫描非加工面上的薄膜层，入射光经薄膜层和晶圆反射或透射后出射的椭偏信号经椭偏仪探测器接收，一旦在晶圆的辅助测量薄膜层上探测到的椭偏信号出现变化，则该出现椭偏信号变化对应的位置即为最大加工损伤位置。它具有如下优点：实现全局、无损、快速精准定位晶圆上的最大加工损伤位置，实时跟踪晶圆的加工状态，对实际晶圆的加工工艺的选择与优化具有重要的指导意义。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109047035A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810877406.6
申请日：2018-08-03
Applicant: 华侨大学
IPC: B07C5/342 , G01N21/892
CPC classification number: B07C5/3422 , G01N21/892
Abstract: 本发明公开了一种聚晶金刚石复合片表面缺陷自动检测装置，包括检测台、用于传送PDC的传送装置、用于将PDC转移的吸附移位装置以及用于检测PDC表面的视觉检测装置，检测台上划分有旋转检测区和上端面检测区，传送装置、吸附移位装置和视觉检测装置均设置于检测台上，吸附移位装置处于旋转检测区和上端面检测区之间。采用上述结构后，通过在旋转检测区和上端面检测区分别对应设置侧面检测装置和上端面检测装置，依次对PDC的侧面和上端面进行检测，通过传送装置和吸附移位装置将PDC从旋转检测区转移到上端面检测区，一次性自动完成对PDC的侧面和上端面的检测，结构简单，且准确率高。
-
公开(公告)号：CN110530799B
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN201910721403.8
申请日：2019-08-06
Applicant: 华侨大学
IPC: G01N21/21
Abstract: 本发明公开了一种晶圆最大加工损伤的精准定位方法，在晶圆的非加工面沉积用于辅助测量的薄膜层，非加工面与加工面相互平行且呈背向设置，非加工面为光滑无损表面；再在晶圆的加工面进行至少一道减薄加工操作，并在每一道减薄加工操作之前后，将椭偏仪的入射光以设定的入射角扫描非加工面上的薄膜层，入射光在薄膜层和晶圆中经反射和折射后出射的椭偏信号经椭偏仪探测器接收，一旦在晶圆的辅助测量薄膜层上探测到的椭偏信号出现变化，则该出现椭偏信号变化对应的位置即为最大加工损伤位置。它具有如下优点：实现全局、无损、快速精准定位晶圆上的最大加工损伤位置，实时跟踪晶圆的加工状态，对实际晶圆的加工工艺的选择与优化具有重要的指导意义。
-
公开(公告)号：CN109187567A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201810890938.3
申请日：2018-08-07
Applicant: 华侨大学
IPC: G01N21/892 , G01N21/88
Abstract: 本发明提供了一种聚晶金刚石复合片表面白点缺陷检测系统，图像采集模块用于拍摄工件表面图像并将其输出与图像处理模块的输入连接，工件旋转运动模块用于带动工件旋转，使得图像采集模块对工件侧面一周的进行图像采集；图像处理模块用于识别图像采集模块采集的图像中的缺陷，并将只含有缺陷的图像作为输出与缺陷测量模块的输入连接；缺陷测量模块用于提取缺陷特征量并进行缺陷尺寸测量与数量统计，将检测结果送至工件分拣模块，工件分拣模块用于将不同等级的缺陷进行分类并放置在相应的不同位置。从而克服现有PDC表面白点缺陷检测方法的不足，实现PDC表面白点缺陷自动识别、测量及分类。
-
公开(公告)号：CN208879126U
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201821250944.4
申请日：2018-08-03
Applicant: 华侨大学
IPC: B07C5/342 , G01N21/892
Abstract: 本实用新型公开了一种聚晶金刚石复合片表面缺陷自动检测装置，包括检测台、用于传送PDC的传送装置、用于将PDC转移的吸附移位装置以及用于检测PDC表面的视觉检测装置，检测台上划分有旋转检测区和上端面检测区，传送装置、吸附移位装置和视觉检测装置均设置于检测台上，吸附移位装置处于旋转检测区和上端面检测区之间。采用上述结构后，通过在旋转检测区和上端面检测区分别对应设置侧面检测装置和上端面检测装置，依次对PDC的侧面和上端面进行检测，通过传送装置和吸附移位装置将PDC从旋转检测区转移到上端面检测区，一次性自动完成对PDC的侧面和上端面的检测，结构简单，且准确率高。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号：CN205483979U
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201620112124.3
申请日：2016-02-04
Applicant: 华侨大学
IPC: G01N19/06
Abstract: 本实用新型公开了一种直线划擦实验设备，包括光学平板、支撑系统、Y轴方向进给装置、试样夹具、工具头、力传感器、Z轴设定器、Z轴设定器夹具、X轴方向进给装置、声发射传感器、测力系统和声发射系统。本实用新型所公开的直线划擦实验设备可以用于单颗压头或者多颗压头的划擦试验研究，并能够准确测得试验的磨削力，试验精度高，机构简单，使用成本低。测得的结果可以用来分析材料的去除机理，摩擦学特性等。
-
-
-
-
-
-
Search Results
7
records
(took 0.018 seconds)
