公开(公告)号：CN105238354A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201510743043.3

申请日：2015-11-04

Applicant: 华侨大学

Inventor： 陆静 ,  徐西鹏 ,  张大语 ,  许永超 ,  罗求发

IPC: C09K3/14 ,  B24B7/22

Abstract: 本发明公开了一种硬核软壳复合磨料，其具有粒径为0.1～1μm的硬质磨料核心和厚度为5～100nm的软质氧化物壳层，该软质氧化物壳层中的氧化物晶粒尺寸为5～20nm，其制备方法是以氧化物的无机盐前驱体的水溶液和硬质磨料为原料，经分散、恒温回流水解、固液分离、洗涤和干燥而制得。本发明的硬核软壳结构的复合磨料在蓝宝石衬底超精密加工过程中能够提高加工效率和表面质量。

公开(公告)号：CN105238354B

公开(公告)日：2019-01-01

申请号：CN201510743043.3

申请日：2015-11-04

Applicant: 华侨大学

Inventor： 陆静 ,  徐西鹏 ,  张大语 ,  许永超 ,  罗求发

IPC: C09K3/14 ,  B24B7/22

Abstract: 本发明公开了一种硬核软壳复合磨料，其具有粒径为0.1～1μm的硬质磨料核心和厚度为5～100nm的软质氧化物壳层，该软质氧化物壳层中的氧化物晶粒尺寸为5～20nm，其制备方法是以氧化物的无机盐前驱体的水溶液和硬质磨料为原料，经分散、恒温回流水解、固液分离、洗涤和干燥而制得。本发明的硬核软壳结构的复合磨料在蓝宝石衬底超精密加工过程中能够提高加工效率和表面质量。