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公开(公告)号：CN119059487A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202310628734.3
申请日：2023-05-30
Applicant: 华为技术有限公司
Abstract: 本申请实施例提供了一种微机电系统芯片、控制方法及相关装置，涉及微机电系统技术领域，用于改善相关技术中微镜器件存在的电压‑位移曲线线性度较差的问题。微机电系统芯片包括驱动电路底座和微镜阵列，微镜阵列包括阵列排布的多个微镜器件，微镜器件包括支撑梁、可动平板电极、固定平板电极、可动斥力电极和固定斥力电极。可动平板电极和固定平板电极相对设置，可动平板电极安装在支撑梁上，并在远离驱动电路底座的一侧为微镜；固定平板电极相对于驱动电路底座固定。可动斥力电极和固定斥力电极相对设置，可动斥力电极安装在支撑梁上，固定斥力电极相对于驱动电路底座固定。上述微机电系统芯片可以应用于显示及光通信装置。
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