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公开(公告)号：CN112271238B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202011309049.7
申请日：2020-11-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/032 , H01L31/08
Abstract: 本发明属于微纳材料合成及器件制备技术领域，更具体地，涉及一种金属氧化物微纳结构、其制备方法和应用。本发明通过将金属氧化物前驱体溶胶凝胶与醇类有机改性剂混合后涂覆于衬底表面，采用飞秒激光对前驱体溶胶凝胶薄膜进行直写，利用飞秒激光光焦点处产生的热量使金属氧化物前驱体发生反应生成金属氧化物，同时在衬底表面形成金属氧化物微纳结构；由于在溶胶凝胶中添加有醇类有机改性剂，该有机改性剂经实验证明能够显著改善得到的金属氧化物微纳结构形貌，使得纳米颗粒连续均匀，优选实施例中制备得到的紫外微纳光电探测器开关比相较于未添加醇类有机改性剂时的开关比提高了64倍。
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公开(公告)号：CN111421228A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN202010270160.3
申请日：2020-04-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/082 , B23K26/70
Abstract: 本发明属于微纳加工领域，具体涉及一种用于跨尺度双光子聚合加工的样品精密夹具及调平方法，夹具包括：固定连接的XY轴移动平台、Z轴位移台和基板，设置于基板上的微调组件，过渡组件，以及载物台；过渡组件一端固定于微调组件上、另一端固定载物台；XY轴移动平台用于驱动Z轴位移台和基板沿X轴和Y轴方向移动；Z轴位移台用于驱动基板以带动微调组件、过渡组件和载物台沿Z轴方向移动；微调组件用于通过驱动过渡组件带动载物台实现水平度和平面度调整。本发明使得双光子聚合加工系统实时三维调平精度控制在100纳米以内，有效保证双光子聚合加工系统在进行加工时准确聚焦和加工产物成型精度，将加工尺度从微纳尺度拓宽至毫米和厘米尺度。
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公开(公告)号：CN111257990A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010184287.3
申请日：2020-03-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种超表面全息器件、超表面动态全息显示装置和方法，属于光学全息领域。包括：空间光编码模块用于将激光光束编码为结构光束；超表面全息器件用于根据结构光束开启超表面全息器件的不同空间信道，进行动态全息显示。本发明由多个独立空间信道组合构成静态超表面器件，利用DMD装置产生结构光场选择性开启不同空间信道，帧率和帧数都得到提高。利用空间信道的设计、不同空间信道重构的全息图形不同，将所处相对空间位置考虑进去，最终重构出的图形与开启的信道组合有关，N个信道可以产生2^N种变化。采用DMD对入射光的编码及4F系统对编码光束的缩束，产生照明结构光场，解决了结构光束与超表面器件空间信道严格对应问题。
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公开(公告)号：CN114217454A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202210159217.1
申请日：2022-02-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于衍射光学元件的空间频谱调制器件的设计与实现方法，属于光学器件领域。方法包括：在衍射光学元件的基底器件上加工一块抑光区域，得到空间滤波器；确定衍射光学元件的相位分布，并转换为各衍射单元的结构参数；根据各衍射单元的结构参数对所述空间滤波器进行加工，得到空间频谱调制器件。本发明使用了加工工艺成熟的衍射光学元件作为主要的光场调制器件；并且在加工衍射光学元件之前，通过镀膜工艺在其基底器件中心加工一块具有特定设计参数的不透光或渐变透光等分布特点的区域，使得本发明所提的空间频谱调制器件在具有对频域光场进行复调制能力的同时，兼顾了可定制化和零功耗的优点。
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公开(公告)号：CN111421228B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202010270160.3
申请日：2020-04-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/082 , B23K26/70
Abstract: 本发明属于微纳加工领域，具体涉及一种用于跨尺度双光子聚合加工的样品精密夹具及调平方法，夹具包括：固定连接的XY轴移动平台、Z轴位移台和基板，设置于基板上的微调组件，过渡组件，以及载物台；过渡组件一端固定于微调组件上、另一端固定载物台；XY轴移动平台用于驱动Z轴位移台和基板沿X轴和Y轴方向移动；Z轴位移台用于驱动基板以带动微调组件、过渡组件和载物台沿Z轴方向移动；微调组件用于通过驱动过渡组件带动载物台实现水平度和平面度调整。本发明使得双光子聚合加工系统实时三维调平精度控制在100纳米以内，有效保证双光子聚合加工系统在进行加工时准确聚焦和加工产物成型精度，将加工尺度从微纳尺度拓宽至毫米和厘米尺度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112479257B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202011344133.2
申请日：2020-11-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于化学合成材料技术领域，并具体公开了大气常温下激光诱导化学合成微纳尺度MoS2的方法及应用，该方法利用飞秒激光直接作用于包含钼源和硫源的前驱体上以诱导其发生光热化学反应进而生成目标产物MoS2，该方法可应用在微纳气体探测器的制备中。本发明实现了大气常温下微纳尺度MoS2产物的制备以及MoS2图案快速直写加工，同时通过调节激光参数实现产物形貌控制，并基于该技术实现了MoS2材料在微纳气体探测领域的应用。
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公开(公告)号：CN112947002A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110097299.7
申请日：2021-01-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微纳加工技术领域，更具体地，涉及一种用于微纳加工的光刻胶材料、其制备和应用。其将金属‑有机框架材料通过有机酸溶解于光敏树脂单体中，配合光引发剂共同组成光刻胶材料，然后利用超快激光直写系统增材制造三维微纳结构，显影晾干后经高温煅烧得到三维微纳结构的金属氧化物。本发明提出的一种金属氧化物三维微纳结构的增材制造方法，具有光刻胶简单易制备、适用于超快激光直写系统、分辨率高、成型效果好以及可加工任意复杂三维结构的优势。该发明制备的三维微纳结构金属氧化物有望在光子晶体、结构色、超材料、三维传感器以及三维集成电路等领域取得重大应用。
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公开(公告)号：CN112479257A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011344133.2
申请日：2020-11-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于化学合成材料技术领域，并具体公开了大气常温下激光诱导化学合成微纳尺度MoS2的方法及应用，该方法利用飞秒激光直接作用于包含钼源和硫源的前驱体上以诱导其发生光热化学反应进而生成目标产物MoS2，该方法可应用在微纳气体探测器的制备中。本发明实现了大气常温下微纳尺度MoS2产物的制备以及MoS2图案快速直写加工，同时通过调节激光参数实现产物形貌控制，并基于该技术实现了MoS2材料在微纳气体探测领域的应用。
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公开(公告)号：CN112271238A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202011309049.7
申请日：2020-11-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/032 , H01L31/08
Abstract: 本发明属于微纳材料合成及器件制备技术领域，更具体地，涉及一种金属氧化物微纳结构、其制备方法和应用。本发明通过将金属氧化物前驱体溶胶凝胶与醇类有机改性剂混合后涂覆于衬底表面，采用飞秒激光对前驱体溶胶凝胶薄膜进行直写，利用飞秒激光光焦点处产生的热量使金属氧化物前驱体发生反应生成金属氧化物，同时在衬底表面形成金属氧化物微纳结构；由于在溶胶凝胶中添加有醇类有机改性剂，该有机改性剂经实验证明能够显著改善得到的金属氧化物微纳结构形貌，使得纳米颗粒连续均匀，优选实施例中制备得到的紫外微纳光电探测器开关比相较于未添加醇类有机改性剂时的开关比提高了64倍。
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公开(公告)号：CN116859587A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310784246.1
申请日：2023-06-28
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明提供一种大视场开普勒色散补偿方法及补偿模块，包括：将开普勒色散补偿模块划分为前组和后组；确定开普勒色散补偿模块的色散补偿需求；根据前组透过复色光的波长范围和前组光焦度确定前组的轴向色差需求，以结合前组轴向色差需求设计第一、第二组合透镜的参数及第一、第二组合透镜的间距，使得第一和第二组合透镜光焦度的绝对值相对较低；根据后组透过复色光的波长范围和后组光焦度确定后组的轴向色差需求，以结合后组轴向色差需求设计第三、第四组合透镜的参数及第三、第四组合透镜的间距，使得第三和第四组合透镜光焦度的绝对值相对较低。本发明能够保证开普勒色散补偿模块在大视场下仍能正确补偿角色散且不引入过量的单色像差。
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