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公开(公告)号：CN113063760B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110279802.0
申请日：2021-03-16
Applicant: 北京大学长三角光电科学研究院
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种提高空间分辨率的异质外延生长氮化镓位错密度检测方法。本发明首先通过温控系统将被检测样品周围的环境温度调节到合适的点，从而抑制扩散长度变大，进一步获得更高的空间分辨率；其次通过单个量子点成像获得成像系统的点扩展函数，利用二维的点扩散函数得到了频域内的光传递函数，对点扩散函数进行逆滤波处理，对样品位错的采集图像进行解卷积处理得到原始图像，从而消除周围环境影响，获得更为精准的图像；随后，对氮化镓位错的尺寸大小、相对密度进行定量分析；最后，进一步基于温控系统及解卷积技术，利用宽场荧光成像技术、阴极发光技术、三光子荧光显微成像及多光子荧光显微成像观测了更为精确的氮化镓薄膜的位错。
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公开(公告)号：CN113075177A
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202110291166.3
申请日：2021-03-18
Applicant: 北京大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种氮化镓位错双光子超分辨显微三维成像装置及方法。本发明利用光学手段对氮化镓位错进行三维成像，是一种非接触式成像，不会对样品造成破坏，不涉及昂贵的扫描电镜等设备，也不需要对样品进行预处理，单次成像区域面积大，同时该设备成像分辨率较高，成像速度快；激发光源为光纤激光器，其成本较低，结构简单，稳定性强，易于维护，对氮化镓晶体激发效率高，荧光信号易于探测，检测模块可以灵活配置；结合氮化镓位错的荧光特性，提出利用涡旋光束作为激发光，能够获得超过衍射极限的横向空间分辨能力。
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公开(公告)号：CN119147100A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202310701619.4
申请日：2023-06-14
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于衍射型平面微透镜的计算光谱仪及光谱重构方法。本发明引入基于光谱‑空间映射原理的计算光谱重构方法，所有对测量过程产生强度影响的参数都被整合到了映射矩阵中，能够极大的简化光谱仪的结构与光谱的测量过程；本发明只需要使用单像素探测器探测轴向的强度分布，能有效消除传统方法中探测横向光斑时像散与慧差等像差的影响；本发明还具有无球差特性，能够保证不同波长在不同轴向距离处的聚焦光斑实现理想的聚焦光斑形貌；并且，本发明光谱覆盖范围宽、成本低、装置简单、结构紧凑、分辨率较高，能够方便的集成到便携设备、手持设备及可穿戴设备中，对于需要实时光谱检测的应用，具有非常重要的意义。
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公开(公告)号：CN113075177B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202110291166.3
申请日：2021-03-18
Applicant: 北京大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种氮化镓位错双光子超分辨显微三维成像装置及方法。本发明利用光学手段对氮化镓位错进行三维成像，是一种非接触式成像，不会对样品造成破坏，不涉及昂贵的扫描电镜等设备，也不需要对样品进行预处理，单次成像区域面积大，同时该设备成像分辨率较高，成像速度快；激发光源为光纤激光器，其成本较低，结构简单，稳定性强，易于维护，对氮化镓晶体激发效率高，荧光信号易于探测，检测模块可以灵活配置；结合氮化镓位错的荧光特性，提出利用涡旋光束作为激发光，能够获得超过衍射极限的横向空间分辨能力。
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公开(公告)号：CN113063760A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110279802.0
申请日：2021-03-16
Applicant: 北京大学长三角光电科学研究院
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种提高空间分辨率的异质外延生长氮化镓位错密度检测方法。本发明首先通过温控系统将被检测样品周围的环境温度调节到合适的点，从而抑制扩散长度变大，进一步获得更高的空间分辨率；其次通过单个量子点成像获得成像系统的点扩展函数，利用二维的点扩散函数得到了频域内的光传递函数，对点扩散函数进行逆滤波处理，对样品位错的采集图像进行解卷积处理得到原始图像，从而消除周围环境影响，获得更为精准的图像；随后，对氮化镓位错的尺寸大小、相对密度进行定量分析；最后，进一步基于温控系统及解卷积技术，利用宽场荧光成像技术、阴极发光技术、三光子荧光显微成像及多光子荧光显微成像观测了更为精确的氮化镓薄膜的位错。
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