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公开(公告)号：CN102290968B
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201110164362.0
申请日：2011-06-17
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种微发电机，包括收集电极结构和驻极体结构，设置在收集电极结构和驻极体结构之间作为轴承的微型球，其中，所述收集电极结构包括：一衬底；设置在衬底上且与衬底绝缘的若干金属电极对；设置在衬底上与金属电极对垂直分布的深槽；所述驻极体结构包括：一衬底；设置在衬底上成条状间隔平行排布的驻极体条；设置在衬底上与驻极体条垂直分布的深槽；收集电极结构上的深槽和驻极体结构上的深槽相对放置，微型球放置在相对的深槽中，驻极体条与电极条相互平行。本发明以微型球作为轴承支撑，可以通过槽深或槽宽来控制金属电极与驻极体之间的间距，有利于提高微型发电机的输出功率。
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公开(公告)号：CN102290968A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110164362.0
申请日：2011-06-17
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种微发电机，包括收集电极结构和驻极体结构，设置在收集电极结构和驻极体结构之间作为轴承的微型球，其中，所述收集电极结构包括：一衬底；设置在衬底上且与衬底绝缘的若干金属电极对；设置在衬底上与金属电极对垂直分布的深槽；所述驻极体结构包括：一衬底；设置在衬底上成条状间隔平行排布的驻极体条；设置在衬底上与驻极体条垂直分布的深槽；收集电极结构上的深槽和驻极体结构上的深槽相对放置，微型球放置在相对的深槽中，驻极体条与电极条相互平行。本发明以微型球作为轴承支撑，可以通过槽深或槽宽来控制金属电极与驻极体之间的间距，有利于提高微型发电机的输出功率。
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