公开(公告)号：CN107941246B

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201711104078.8

申请日：2017-11-10

Applicant: 北京大学

Inventor： 张海霞 ,  吴瀚翔 ,  苏宗明 ,  师马跃 ,  缪立明 ,  宋宇 ,  陈号天

IPC: G01D5/12 ,  G06F3/01 ,  H01L51/00

Abstract: 本发明提供了一种非接触式自驱动电子皮肤，涉及传感器和电子皮肤技术领域，包括有摩擦层薄膜，摩擦层薄膜表面均匀设有若干微结构摩擦单元；隔离保护层，隔离保护层的下表面连接有柔性衬底，柔性衬底与隔离保护层之间夹装有电极；隔离保护层上设有能够使所述摩擦层薄膜在受到外界压力时与所述柔性衬底层相互接触的接触区。本发明可实现多种运动方式的交互传感，接触分离过程使摩擦层薄膜带电，之后摩擦层薄膜可不与隔离保护层、电极、柔性衬底组成的三层结构接触而在其上空滑动，滑动的位移终点坐标可以通过分析电极接收到的电信号得到；采用自驱动的传感方式，制备工艺简单方便，可根据实际需要快捷的调整工艺参数，生产成本低，适于批量生产。

公开(公告)号：CN107941246A

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201711104078.8

申请日：2017-11-10

Applicant: 北京大学

Inventor： 张海霞 ,  吴瀚翔 ,  苏宗明 ,  师马跃 ,  缪立明 ,  宋宇 ,  陈号天

IPC: G01D5/12 ,  G06F3/01 ,  H01L51/00

Abstract: 本发明提供了一种非接触式自驱动电子皮肤，涉及传感器和电子皮肤技术领域，包括有摩擦层薄膜，摩擦层薄膜表面均匀设有若干微结构摩擦单元；隔离保护层，隔离保护层的下表面连接有柔性衬底，柔性衬底与隔离保护层之间夹装有电极；隔离保护层上设有能够使所述摩擦层薄膜在受到外界压力时与所述柔性衬底层相互接触的接触区。本发明可实现多种运动方式的交互传感，接触分离过程使摩擦层薄膜带电，之后摩擦层薄膜可不与隔离保护层、电极、柔性衬底组成的三层结构接触而在其上空滑动，滑动的位移终点坐标可以通过分析电极接收到的电信号得到；采用自驱动的传感方式，制备工艺简单方便，可根据实际需要快捷的调整工艺参数，生产成本低，适于批量生产。