公开(公告)号：CN119753676A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202411657012.1

申请日：2024-11-19

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 尤睿 ,  张峻豪 ,  卞晓蒙 ,  邢文强

IPC: C23C26/00

Abstract: 一种3D热缩超表面生化传感器制造方法，属于超材料技术领域。本发明实现方法为：步骤一、将金属过渡层沉积在热缩材料表面；步骤二、将金属反射层沉积在金属过渡层上，得到AS；步骤三、采用脉冲激光对步骤二得到的AS进行绕圈式辐照，控制激光辐照圈数，达到高度目的，实现3D热缩超表面生化传感器加工。本发明通过飞秒激光工艺进行3D热缩超表面生化传感器加工，利用聚合物的记忆性，采用激光诱导热缩使其局部快速收缩恢复原状，能够不改变其形貌和结构特征的前提下，缩小传感器局部结构的特征的尺寸，提高纵横比，显著提升超表面材料的灵敏度。本发明还具有对设备要求低、操作难度低、制备时间短、不会因为加工过程产生副产物等优点。

公开(公告)号：CN116722368A

公开(公告)日：2023-09-08

申请号：CN202310754409.1

申请日：2023-06-25

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 尤睿 ,  张峻豪 ,  卞晓蒙 ,  赵晓光

IPC: H01Q15/00 ,  H01Q17/00

Abstract: 本申请公开一种超表面结构及其制备方法，本申请的制备方法采用热压法和热缩法相结合，包括：模板设计、热压、打磨、热缩、镀金。通过对模板的设计，在热压和热缩后，简单、高效的得到更高纵横比的超表面结构。