基板收纳容器
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104520984B

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:CN201380011256.6

    申请日:2013-04-01

    CPC classification number: H01L21/67393 H01L21/67366

    Abstract: 本发明提供一种基板收纳容器,其在被清洁后,也能够长时间将内部封闭空间的相对湿度维持在低湿度。上述基板收纳容器(1)中,作为区划内部封闭空间(3)的构成部件的外壳主体(2)、门(4)以及开闭阀(8)的构成材料,是一种吸水率在0.1重量百分数以下的特殊构成材料,上述吸水率是在23℃的水中经过24小时浸泡后测定所得。从而,按照JIS K7209规格,或者ISO62规格的标准,使外壳主体(2)、门(4)以及开闭阀(8)的水分放出抑制能力能够满足客观的现实需求,显著地抑制水分自上述构成部件释放至内部封闭空间3中。

    基板收纳容器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104520984A

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201380011256.6

    申请日:2013-04-01

    CPC classification number: H01L21/67393 H01L21/67366

    Abstract: 本发明提供一种基板收纳容器,其在被清洁后,也能够长时间将内部封闭空间的相对湿度维持在低湿度。上述基板收纳容器(1)中,作为区划内部封闭空间(3)的构成部件的外壳主体(2)、门(4)以及开闭阀(8)的构成材料,是一种吸水率在0.1重量百分数以下的特殊构成材料,上述吸水率是在23℃的水中经过24小时浸泡后测定所得。从而,按照JIS K7209规格,或者ISO62规格的标准,使外壳主体(2)、门(4)以及开闭阀(8)的水分放出抑制能力能够满足客观的现实需求,显著地抑制水分自上述构成部件释放至内部封闭空间3中。

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