公开(公告)号：CN110016136B

公开(公告)日：2021-09-24

申请号：CN201811477764.4

申请日：2018-12-05

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 浦野宏之 ,  鹰野广季 ,  饭尾匡史 ,  竹村胜也 ,  本田和也

IPC: C08G73/10 ,  G03F7/004 ,  G03F7/008 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  G03F7/32

Abstract: 本发明提供一种能够导出聚酰亚胺的四羧酸二酐、使用该四羧酸二酐而得到的聚酰亚胺树脂及其制造方法，所述聚酰亚胺可在不损害机械强度、密着性等优异的特征的情况下形成微细的图案并得到高分辨率，且可用作光敏树脂组合物的基础树脂。所述四羧酸二酐的特征在于，为下述通式(1)所示的四羧酸二酐。[化学式1]

公开(公告)号：CN110016136A

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201811477764.4

申请日：2018-12-05

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 浦野宏之 ,  鹰野广季 ,  饭尾匡史 ,  竹村胜也 ,  本田和也

IPC: C08G73/10 ,  G03F7/004 ,  G03F7/008 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  G03F7/32

Abstract: 本发明提供一种能够导出聚酰亚胺的四羧酸二酐、使用该四羧酸二酐而得到的聚酰亚胺树脂及其制造方法，所述聚酰亚胺可在不损害机械强度、密着性等优异的特征的情况下形成微细的图案并得到高分辨率，且可用作光敏树脂组合物的基础树脂。所述四羧酸二酐的特征在于，为下述通式(1)所示的四羧酸二酐。[化学式1]