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公开(公告)号:CN100497718C
公开(公告)日:2009-06-10
申请号:CN200310118011.1
申请日:2003-11-20
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C23C4/18 , C23C4/11 , C23C28/042 , C23C30/00
Abstract: 一种涂覆部件包括Mo,Ta,W,Zr或碳的基体以及含稀土的氧化物的涂层,所述氧化物涂层表面层的维氏硬度至少为50;或者,一种涂覆部件包括线膨胀系数至少为4×10-6(1/K)的基体以及位于在该基体上的含稀土的氧化物涂层。所述涂覆部件耐热,可以用来作为在粉末冶金金属、金属陶瓷和陶瓷材料的烧结中使用的定位器件。
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公开(公告)号:CN1502718A
公开(公告)日:2004-06-09
申请号:CN200310118011.1
申请日:2003-11-20
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C23C4/18 , C23C4/11 , C23C28/042 , C23C30/00
Abstract: 一种涂覆部件包括Mo,Ta,W,Zr或碳的基体以及含稀土的氧化物的涂层,所述氧化物涂层表面层的维氏硬度至少为50;或者,一种涂覆部件包括线膨胀系数至少为4×10-6(1/K)的基体以及位于在该基体上的含稀土的氧化物涂层。所述涂覆部件耐热,可以用来作为在粉末冶金金属、金属陶瓷和陶瓷材料的烧结中使用的定位器件。
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