公开(公告)号：CN101982807A

公开(公告)日：2011-03-02

申请号：CN201010510475.7

申请日：2010-04-08

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 田中启顺 ,  渡边保 ,  渡邉聪

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/40 ,  G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0382 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/40

Abstract: 一种图案形成方法。一种化学放大型抗蚀剂组合物，它包括基础树脂、产酸剂和溶剂。每100pbw的基础树脂存在1400-5000pbw的溶剂，且上述溶剂含有至少60wt％的PGMEA和乳酸乙酯以及0.2-20wt％的高沸点溶剂。通过在基材上涂敷抗蚀剂组合物、预烘烤、图案形式曝光、曝光后烘烤、显影和热处理来形成抗蚀剂图案。

公开(公告)号：CN101982807B

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201010510475.7

申请日：2010-04-08

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 田中启顺 ,  渡边保 ,  渡邉聪

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/40 ,  G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0382 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/40

Abstract: 一种图案形成方法。一种化学放大型抗蚀剂组合物，它包括基础树脂、产酸剂和溶剂。每100pbw的基础树脂存在1400-5000pbw的溶剂，且上述溶剂含有至少60wt％的PGMEA和乳酸乙酯以及0.2-20wt％的高沸点溶剂。通过在基材上涂敷抗蚀剂组合物、预烘烤、图案形式曝光、曝光后烘烤、显影和热处理来形成抗蚀剂图案。