喷涂涂层、制造喷涂涂层的方法、喷涂的部件及喷涂材料

    公开(公告)号:CN113699477A

    公开(公告)日:2021-11-26

    申请号:CN202111009097.9

    申请日:2019-08-14

    Abstract: 本发明涉及一种喷涂涂层、制造喷涂涂层的方法、喷涂的部件及喷涂材料。具体涉及一种具有多层结构的喷涂涂层,其包含下层和表层,所述下层由含有稀土氧化物的喷涂涂层制成,所述表层由含有稀土氟化物和/或稀土氟氧化物的另外喷涂涂层制成,该多层的喷涂涂层具有23℃下的体积电阻率和200℃下的体积电阻率,23℃下的体积电阻率为1×109Ω·cm至1×1012Ω·cm,由200℃下的体积电阻率与23℃下的体积电阻率之比限定的体积电阻率的温度指数为0.1至10。

    喷涂涂层、制造喷涂涂层的方法、喷涂的部件及喷涂材料

    公开(公告)号:CN110835720A

    公开(公告)日:2020-02-25

    申请号:CN201910748398.X

    申请日:2019-08-14

    Abstract: 本发明涉及一种喷涂涂层、制造喷涂涂层的方法、喷涂的部件及喷涂材料。具体涉及一种具有多层结构的喷涂涂层,其包含下层和表层,所述下层由含有稀土氧化物的喷涂涂层制成,所述表层由含有稀土氟化物和/或稀土氟氧化物的另外喷涂涂层制成,该多层的喷涂涂层具有23℃下的体积电阻率和200℃下的体积电阻率,23℃下的体积电阻率为1×109Ω·cm至1×1012Ω·cm,由200℃下的体积电阻率与23℃下的体积电阻率之比限定的体积电阻率的温度指数为0.1至10。

    钇基喷涂涂层和制造方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116695048A

    公开(公告)日:2023-09-05

    申请号:CN202310896312.4

    申请日:2016-07-29

    Abstract: 本发明涉及钇基喷涂涂层和制造方法。通过将氧化钇、氟化钇或氧氟化钇热喷涂到基材上以形成10‑500μm厚的涂层,并且用有机酸、无机酸或其混合物的清洁液对该涂层进行化学清洁直至该涂层表面具有300nm以下的尺寸的颗粒的粒数变为不多于5个颗粒/mm2,从而得到钇基喷涂涂层。该钇基喷涂涂层即使在卤素气体等离子体气氛中也显示出高耐腐蚀性并且防止钇基颗粒在蚀刻处理过程中剥落。

    喷涂涂层、制造喷涂涂层的方法、喷涂的部件及喷涂材料

    公开(公告)号:CN110835720B

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN201910748398.X

    申请日:2019-08-14

    Abstract: 本发明涉及一种喷涂涂层、制造喷涂涂层的方法、喷涂的部件及喷涂材料。具体涉及一种具有多层结构的喷涂涂层,其包含下层和表层,所述下层由含有稀土氧化物的喷涂涂层制成,所述表层由含有稀土氟化物和/或稀土氟氧化物的另外喷涂涂层制成,该多层的喷涂涂层具有23℃下的体积电阻率和200℃下的体积电阻率,23℃下的体积电阻率为1×109Ω·cm至1×1012Ω·cm,由200℃下的体积电阻率与23℃下的体积电阻率之比限定的体积电阻率的温度指数为0.1至10。

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