公开(公告)号：CN1327469C

公开(公告)日：2007-07-18

申请号：CN200310101431.9

申请日：2003-10-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 堀越康夫 ,  大塚博之

IPC: H01J9/02

CPC classification number: H01J9/022 ,  H01J2201/3165

Abstract: 提供一种电子源衬底的制造方法，可以减少测定衬底的目标位置的时间，其包括：测定工序，其中，沿一个方向对衬底和测定装置中的至少一个进行扫描，以测定衬底的位置；控制工序，其中，根据测定工序的结果而控制吐出液滴的吐出位置；以及吐出工序，其中，基于控制工序，沿一个方向对所述喷墨头和所述衬底中的至少一个进行相对地扫描，同时，由喷墨头在所述衬底表面上的一对电极间吐出并施加含有导电性薄膜材料的液滴；其中，所述测定工序的扫描方向和所述吐出工序中的扫描方向基本平行，且在一个扫描过程中进行所述测定工序和所述吐出工序。

公开(公告)号：CN1497640A

公开(公告)日：2004-05-19

申请号：CN200310101431.9

申请日：2003-10-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 堀越康夫 ,  大塚博之

IPC: H01J9/02

CPC classification number: H01J9/022 ,  H01J2201/3165

Abstract: 提供一种电子源衬底的制造方法，可以减少测定衬底的目标位置的时间，其包括：测定工序，其中，沿一个方向对衬底和测定装置中的至少一个进行扫描，以测定衬底的位置；控制工序，其中，根据测定工序的结果而控制吐出液滴的吐出位置；以及吐出工序，其中，基于控制工序，沿一个方向对所述喷墨头和所述衬底中的至少一个进行相对地扫描，同时，由喷墨头在所述衬底表面上的一对电极间吐出并施加含有导电性薄膜材料的液滴；其中，所述测定工序的扫描方向和所述吐出工序中的扫描方向基本平行，且在一个扫描过程中进行所述测定工序和所述吐出工序。

公开(公告)号：CN1171164C

公开(公告)日：2004-10-13

申请号：CN96102276.0

申请日：1996-06-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 保坂光太郎 ,  大塚博之 ,  松久胜 ,  吉田延行

IPC: G06F17/60

CPC classification number: G05B19/4184 ,  G05B2219/31316 ,  G05B2219/31467 ,  G05B2219/32196 ,  G05B2219/32407 ,  G05B2219/33156 ,  G05B2219/36395 ,  G05B2219/45188 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/22

Abstract: 一种自动化系统具有一个监视计算机，用于对连接到一条生产设备的输入/输出控制装置的控制信息进行远程监视和/或分析，一个通过输入/输出控制装置控制生产设备的操作工序的控制计算机，以及一个作为信息传输装置的双端口存储器，它可以按照一个定时在监视计算机和控制计算机之间传输控制信息，该定时与操作工序的控制无关，它可以实时地读/写控制计算机的存储器的全部或是一部分，并且可以按照逐个工件或逐个工序被写入与工件有关的数据，例如操作状态、测量结果、以及代表顺序流程信息的标记。