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公开(公告)号:CN1614059A
公开(公告)日:2005-05-11
申请号:CN200410090057.1
申请日:2004-11-01
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Abstract: 本发明提供一种具有比Ni-Cr-Al-Si系合金更优良的高温稳定性,并且电阻温度系数几乎为0的金属电阻材料。采用含有Al:1.0~15.0重量%、稀土类元素:0.01~0.5重量%,其余部分实质上由Cr及Ni构成,Cr/Ni重量比为0.15~1.1的溅射靶材,用溅射法形成的电阻薄膜,对该电阻薄膜在大气中,于200℃~500℃、1~10小时的条件下进行热处理。
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公开(公告)号:CN1321206C
公开(公告)日:2007-06-13
申请号:CN200410090057.1
申请日:2004-11-01
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Abstract: 本发明提供一种具有比Ni-Cr-Al-Si系合金更优良的高温稳定性,并且电阻温度系数几乎为0的金属电阻材料。采用含有Al:1.0~15.0重量%、稀土类元素:0.01~0.5重量%,其余部分实质上由Cr及Ni构成,Cr/Ni重量比为0.15~1.1的溅射靶材,用溅射法形成的电阻薄膜,对该电阻薄膜在大气中,于200℃~500℃、1~10小时的条件下进行热处理。
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