公开(公告)号：CN101681100A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200980000023.X

申请日：2009-01-07

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： 水岛彩子 ,  真壁裕明 ,  竹田真滋

IPC: G03F7/023 ,  C08G69/42 ,  G03F7/004 ,  G03F7/075

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G69/42 ,  G03F7/022 ,  G03F7/0757

Abstract: 本发明的目的是在正型感光性树脂组合物的图案化过程中，同时抑制露出部分内浮渣的形成并提高敏感性。该目的可以通过正型感光性树脂组合物来实现，其中，所述正型感光性树脂组合物包含碱溶性树脂(A)和感光剂(B)，碱溶性树脂(A)所含有的分子量≥80,000的成分的含量≤0.5％；其中，相对于100重量份的所述碱溶性树脂(A)，所述感光剂(B)的量为10重量份～40重量份。