公开(公告)号：CN112041745B

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN201980027929.4

申请日：2019-04-19

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： 白石骏太 ,  铃木咲子 ,  杉山广道

IPC: G03F7/038 ,  C08G59/08 ,  C08G59/62 ,  G03F7/20 ,  H01L21/312

Abstract: 本发明的凸块保护膜用感光性树脂组合物包含热固性树脂、感光剂和溶剂，将在硅基板上涂敷该凸块保护膜用感光性树脂组合物之后进行干燥而得到的厚度15μm的干燥膜作为感光性树脂膜，将依次实施了曝光i线的第一处理、进行曝光后加热的第二处理和进行喷雾显影的第三处理之后的感光性树脂膜作为显影后感光膜，将实施了进行显影后加热的第四处理之后的显影后感光膜作为固化后感光膜时，由显影后感光膜提取的第一提取液的pH1为3.0～5.0，由固化后感光膜提取的第二提取液的pH2比pH1高0.1～1.0。

公开(公告)号：CN112041745A

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN201980027929.4

申请日：2019-04-19

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： 白石骏太 ,  铃木咲子 ,  杉山广道

IPC: G03F7/038 ,  C08G59/08 ,  C08G59/62 ,  G03F7/20 ,  H01L21/312

Abstract: 本发明的凸块保护膜用感光性树脂组合物包含热固性树脂、感光剂和溶剂，将在硅基板上涂敷该凸块保护膜用感光性树脂组合物之后进行干燥而得到的厚度15μm的干燥膜作为感光性树脂膜，将依次实施了曝光i线的第一处理、进行曝光后加热的第二处理和进行喷雾显影的第三处理之后的感光性树脂膜作为显影后感光膜，将实施了进行显影后加热的第四处理之后的显影后感光膜作为固化后感光膜时，由显影后感光膜提取的第一提取液的pH1为3.0～5.0，由固化后感光膜提取的第二提取液的pH2比pH1高0.1～1.0。