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公开(公告)号:CN107531824B
公开(公告)日:2020-11-17
申请号:CN201680025916.X
申请日:2016-04-20
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: C08F8/12 , C08F222/06 , C08F232/00 , G03F7/20 , G03F7/023 , G03F7/033
Abstract: 聚合物的制造方法具备:使降冰片烯型单体与马来酸酐进行聚合而获得共聚物的工序;和在不添加酸性催化剂和碱性催化剂的情况下,对添加有下述式(1)所表示的化合物的共聚物进行第1加热处理,使共聚物中存在的源自马来酸酐的酐环开环的工序。HO‑Ra(1)(式(1)中,Ra是氢原子或可以含有氧原子的碳原子数1~18的烃基)。
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公开(公告)号:CN104216222A
公开(公告)日:2014-12-17
申请号:CN201410230856.8
申请日:2014-05-28
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种耐化学药品性与感光性树脂组合物所要求的其他特性之间的平衡优异的感光性树脂组合物和具有该感光性树脂组合物的电子装置。所述感光性树脂组合物包含下述式(1)所示的聚合物(第一聚合物)、与该聚合物进行交联的第一交联剂、作为含有与上述聚合物或上述第一交联剂进行交联的反应性基团的第二交联剂的丙烯酸树脂,以及感光剂。(式(1)中,l和m表示聚合物中的摩尔含有率,l+m=1,n为0、1或2。R1、R2、R3和R4分别独立地表示氢或碳数1~30的有机基团,A是由下述式(2a)、(2b)、(2c)或(2d)所示的结构单元)(式(2a)和式(2b)中,R5、R6和R7分别独立地表示碳数1~18的有机基团)。
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公开(公告)号:CN107531824A
公开(公告)日:2018-01-02
申请号:CN201680025916.X
申请日:2016-04-20
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: C08F8/12 , C08F222/06 , C08F232/00 , G03F7/20 , G03F7/023 , G03F7/033
Abstract: 聚合物的制造方法具备:使降冰片烯型单体与马来酸酐进行聚合而获得共聚物的工序;和在不添加酸性催化剂和碱性催化剂的情况下,对添加有下述式(1)所表示的化合物的共聚物进行第1加热处理,使共聚物中存在的源自马来酸酐的酐环开环的工序。HO‑Ra(1)(式(1)中,Ra是氢原子或可以含有氧原子的碳原子数1~18的烃基)。
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公开(公告)号:CN103329042B
公开(公告)日:2015-12-23
申请号:CN201280006326.4
申请日:2012-02-20
Applicant: 住友电木株式会社
Inventor: 今村裕治
IPC: G03F7/023 , C08G8/02 , H01L21/027
CPC classification number: C08G8/24 , C08K5/235 , G03F7/0236 , C08L61/06
Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂用树脂组合物,其以良好的灵敏度·分辨率具有高残膜性,其它特性也不比通用的光致抗蚀剂用树脂组合物差。该光致抗蚀剂用树脂组合物含有高邻位酚醛清漆型酚醛树脂、萘醌二叠氮化物衍生物和溶剂,所述高邻位酚醛清漆型酚醛树脂是将选自间甲酚、对甲酚、3,5-二甲酚和2,3,5-三甲基苯酚中的一种或二种以及醛类在酸催化剂的存在下于110-220℃的温度下反应而得的。
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公开(公告)号:CN103329042A
公开(公告)日:2013-09-25
申请号:CN201280006326.4
申请日:2012-02-20
Applicant: 住友电木株式会社
Inventor: 今村裕治
IPC: G03F7/023 , C08G8/02 , H01L21/027
CPC classification number: C08G8/24 , C08K5/235 , G03F7/0236 , C08L61/06
Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂用树脂组合物,其以良好的灵敏度·分辨率具有高残膜性,其它特性也不比通用的光致抗蚀剂用树脂组合物差。该光致抗蚀剂用树脂组合物含有高邻位酚醛清漆型酚醛树脂、萘醌二叠氮化物衍生物和溶剂,所述高邻位酚醛清漆型酚醛树脂是将选自间甲酚、对甲酚、3,5-二甲酚和2,3,5-三甲基苯酚中的一种或二种以及醛类在酸催化剂的存在下于110-220℃的温度下反应而得的。
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