公开(公告)号：CN102890413A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201210251270.0

申请日：2012-07-19

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  平冈崇志 ,  落合光良

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法。所述抗蚀剂组合物包含：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包括由式(I)表示的结构单元的树脂，和由式(II)表示的酸生成剂，其中R1、A1、R2、Q1和Q2、L1、环W、Rf1和Rf2、n和Z+如说明书中限定。

公开(公告)号：CN102890409A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201210250739.9

申请日：2012-07-19

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  平冈崇志 ,  落合光良

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法。所述抗蚀剂组合物包含：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和由式(II)表示的酸生成剂，其中R1、A1、A13、A14、X12、Q1、Q2、L1、环W、Rf1和Rf2、n和Z+如说明书中限定。