公开(公告)号：CN111948176B

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202010405278.2

申请日：2020-05-13

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 川上武志 ,  尾崎麻耶 ,  曾我部里惠

IPC: G01N21/45 ,  G02B5/30

Abstract: 本发明的一实施方式所涉及的光学薄膜的检查方法具备：检测工序，向具有第1相位差层、第2相位差层和配置在第1相位差层以及第2相位差层之间的第1粘接层的光学薄膜(10)的检查面(10a)，从在检查面侧配置的光源部(21)照射检查光(L1)，并通过在检查面侧配置的检测部(22)对从光源部照射并由光学薄膜反射出的光进行检测；以及判定工序，根据通过检测部检测出的光的亮度，取得沿着光学薄膜中的剖面的亮度分布，并根据亮度分布来判定光学薄膜是否为合格品。

公开(公告)号：CN111948176A

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN202010405278.2

申请日：2020-05-13

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 川上武志 ,  尾崎麻耶 ,  曾我部里惠

IPC: G01N21/45 ,  G02B5/30

Abstract: 本发明的一实施方式所涉及的光学薄膜的检查方法具备：检测工序，向具有第1相位差层、第2相位差层和配置在第1相位差层以及第2相位差层之间的第1粘接层的光学薄膜(10)的检查面(10a)，从在检查面侧配置的光源部(21)照射检查光(L1)，并通过在检查面侧配置的检测部(22)对从光源部照射并由光学薄膜反射出的光进行检测；以及判定工序，根据通过检测部检测出的光的亮度，取得沿着光学薄膜中的剖面的亮度分布，并根据亮度分布来判定光学薄膜是否为合格品。

公开(公告)号：CN113646624A

公开(公告)日：2021-11-12

申请号：CN202080027065.9

申请日：2020-03-05

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 尾崎麻耶 ,  曾我部里惠

IPC: G01N21/892 ,  G02B5/30 ,  G01M11/00

Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的检查装置具备：检查光学系统，其具有照明部、和取得用于缺陷判定的检查图像的拍摄部；以及移动机构，其使膜移动，检查光学系统与移动机构独立地固定配置，移动机构具有使膜相对于检查光学系统向与膜的基准方向不同的第一方向移动的机构，拍摄部的拍摄区域(A)沿与第一方向不同的第二方向延伸，基准方向、第一方向以及第二方向与膜的厚度方向正交，基准方向与第一方向之间的第一角度(θ1)为15°以上且165°以下，第一方向与第二方向之间的第二角度(θ2)为15°以上且165°以下，基准方向与第二方向为非正交。