放射线敏感性树脂组合物

    公开(公告)号:CN101387829A

    公开(公告)日:2009-03-18

    申请号:CN200810213809.7

    申请日:2008-09-08

    Inventor: 山田爱理

    Abstract: 本发明提供放射线敏感性树脂组合物,其包含共聚物(A)和重氮醌磺酸酯化合物(B),所述共聚物(A)含有由不饱和羧酸衍生的结构单元(a1)和由具有环状醚基和碳-碳不饱和键的化合物(但是与不饱和羧酸不同。)衍生的结构单元(a2),其中,重氮醌磺酸酯化合物(B)为在式(1)所示的酚类化合物中,其一部分或全部酚性羟基被重氮醌磺酸酯化得到的化合物。[式(1)中,R1~R12各自独立地表示氢原子、卤原子、羟基、碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为3~10的环烷基、碳原子数为2~4的烯基、碳原子数为1~10的烷氧基或苯基(可以被碳原子数为1~4的烷基、卤原子、碳原子数为1~4的烷氧基取代),或表示可以在R1~R5和R8~R12中的两个取代基间形成环的结构。其中,R1~R5和R8~R12中,至少一个表示羟基。]。

    正型着色辐射敏感树脂组合物

    公开(公告)号:CN101097404A

    公开(公告)日:2008-01-02

    申请号:CN200710129291.4

    申请日:2007-06-27

    Abstract: 一种正型着色辐射敏感树脂组合物,其包括(A)碱溶性可固化树脂、(B)醌二叠氮化合物和(C)着色剂,其中(A)碱溶性可固化树脂是包含(a1)衍生自不包含羧酸的结构单元和(a2)衍生自除不饱和羧酸外的具有氧杂环丁基的不饱和化合物结构单元的共聚物。

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