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公开(公告)号:CN101387829A
公开(公告)日:2009-03-18
申请号:CN200810213809.7
申请日:2008-09-08
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor: 山田爱理
Abstract: 本发明提供放射线敏感性树脂组合物,其包含共聚物(A)和重氮醌磺酸酯化合物(B),所述共聚物(A)含有由不饱和羧酸衍生的结构单元(a1)和由具有环状醚基和碳-碳不饱和键的化合物(但是与不饱和羧酸不同。)衍生的结构单元(a2),其中,重氮醌磺酸酯化合物(B)为在式(1)所示的酚类化合物中,其一部分或全部酚性羟基被重氮醌磺酸酯化得到的化合物。[式(1)中,R1~R12各自独立地表示氢原子、卤原子、羟基、碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为3~10的环烷基、碳原子数为2~4的烯基、碳原子数为1~10的烷氧基或苯基(可以被碳原子数为1~4的烷基、卤原子、碳原子数为1~4的烷氧基取代),或表示可以在R1~R5和R8~R12中的两个取代基间形成环的结构。其中,R1~R5和R8~R12中,至少一个表示羟基。]。
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