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公开(公告)号：CN101225512A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200710167494.2
申请日：2007-10-29
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C23C16/448 , C30B25/14
CPC classification number: C01G15/00 , B01D7/00 , C23C16/4481
Abstract: 一种蒸发固体有机金属化合物的方法，其中所述方法包括将固体有机金属化合物填充到容器中，将载气引入到容器，并放出包含有机金属化合物的气体，其中所述固体有机金属化合物是团粒状，并包含惰性载体。
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