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公开(公告)号：CN116818084A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310774542.3
申请日：2023-06-28
Applicant: 之江实验室
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开了一种基于微纳光纤耦合器的声波传感器和系统。包括衬底，作为声波传感器的基底；包括气体腔体，布置在衬底上，内部具有相对封闭的气室；包括微纳光纤耦合器，具有光学敏感部，光学敏感部布置在气体腔体中；包括振动膜，布置在气体腔体的一侧表面，和气体腔体气室内的气体直接接触；还包括光学检测组件，光学检测组件包括激光光源、光电探测器和示波器。微纳光纤耦合器一端和激光光源连接，微纳光纤耦合器另一端和光电探测器连接，同时光电探测器和示波器电连接。本发明能实现对声波的快速准确检测，具有超高灵敏度、实时响应、结构紧凑、成本低廉等优点，在超声监测、工业无损检测、机器人导航等领域具有应用前景。
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公开(公告)号：CN118687742A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202411186846.9
申请日：2024-08-28
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于锥形光纤的柔性多轴力传感器及系统。柔性多轴力传感器中，衬底作为基底，弹性体薄膜布置在衬底上；锥形光纤的U形微纳光纤区域作为光学敏感部并被封装在弹性体薄膜中；弹性体薄膜上设置有凸台，凸台顶点的正投影点位于锥形光纤的对称轴上；凸台作为受力触点，将外界对其施加的力传递给弹性体薄膜和锥形光纤，使锥形光纤的光学敏感部产生形变和时间分辨的光学透过率变化。本发明提出的柔性多轴力传感器能实现对包括法向力和横向剪切力在内的多轴力的感知和测量，具有灵敏度高、响应速度快、重复性好、过载容忍度高等优点，在智能机器人、可穿戴设备以及人机交互等领域具有应用前景。
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公开(公告)号：CN116929512A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310681135.8
申请日：2023-06-09
Applicant: 之江实验室
IPC: G01G3/16
Abstract: 本发明公开了一种微纳光纤集成的微流控悬臂梁质量传感器和方法。振动结构用于对传感结构产生主动振动进而用于检测质量，传感结构用于容纳待测溶液而被振动结构带动产生被动振动进而检测振动反映质量；传感结构包括悬臂梁、微流控通道和微纳光纤，悬臂梁，一端布置在振动结构的压电陶瓷上面，另一端悬空伸出于振动结构的压电陶瓷，悬臂梁受振动结构带动而振动，微流控通道埋设在悬臂梁中用于容纳待测溶液；微纳光纤布置在悬臂梁上用于检测悬臂梁的振动。本发明能方便快捷地获得悬臂梁本征振动频率的频移数据，从而得到通道内液体质量的微小变化，具有系统集成度高、灵敏度高的特点，并且悬臂梁质量传感器的灵敏度、动态响应范围均可调。
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公开(公告)号：CN118687742B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411186846.9
申请日：2024-08-28
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于锥形光纤的柔性多轴力传感器及系统。柔性多轴力传感器中，衬底作为基底，弹性体薄膜布置在衬底上；锥形光纤的U形微纳光纤区域作为光学敏感部并被封装在弹性体薄膜中；弹性体薄膜上设置有凸台，凸台顶点的正投影点位于锥形光纤的对称轴上；凸台作为受力触点，将外界对其施加的力传递给弹性体薄膜和锥形光纤，使锥形光纤的光学敏感部产生形变和时间分辨的光学透过率变化。本发明提出的柔性多轴力传感器能实现对包括法向力和横向剪切力在内的多轴力的感知和测量，具有灵敏度高、响应速度快、重复性好、过载容忍度高等优点，在智能机器人、可穿戴设备以及人机交互等领域具有应用前景。
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