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公开(公告)号:CN101714599B
公开(公告)日:2012-01-18
申请号:CN200910175610.4
申请日:2009-09-24
Applicant: 丰田合成株式会社
IPC: H01L33/00
CPC classification number: H01L33/42 , H01L33/145 , H01L33/32
Abstract: 提供一种用于制造具有面朝上构造的第III族氮化物半导体发光器件的方法,该发光器件包括p型层和由ITO组成的透明电极,在该方法中同时形成透明电极上的p焊盘电极和n型层上的n电极。p焊盘电极和n电极由镍/金组成。将所产生的结构在570℃进行热处理从而能够在p焊盘电极和n电极中建立良好的接触。热处理还提供透明电极中紧挨p焊盘电极下方的区域,该区域与p型层之间的接触电阻高于透明电极中其它区域与p型层之间的接触电阻。因此,活性层处于所提供的区域下方的区域不发光,从而能够提高发光器件的发光效率。
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公开(公告)号:CN101714599A
公开(公告)日:2010-05-26
申请号:CN200910175610.4
申请日:2009-09-24
Applicant: 丰田合成株式会社
IPC: H01L33/00
CPC classification number: H01L33/42 , H01L33/145 , H01L33/32
Abstract: 提供一种用于制造具有面朝上构造的第III族氮化物半导体发光器件的方法,该发光器件包括p型层和由ITO组成的透明电极,在该方法中同时形成透明电极上的p焊盘电极和n型层上的n电极。p焊盘电极和n电极由镍/金组成。将所产生的结构在570℃进行热处理从而能够在p焊盘电极和n电极中建立良好的接触。热处理还提供透明电极中紧挨p焊盘电极下方的区域,该区域与p型层之间的接触电阻高于透明电极中其它区域与p型层之间的接触电阻。因此,活性层处于所提供的区域下方的区域不发光,从而能够提高发光器件的发光效率。
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