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公开(公告)号：CN221884113U
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202420393743.9
申请日：2024-03-01
Applicant: 中国计量大学
IPC: G03F7/00
Abstract: 本实用新型公开了一种可调平的纳米压印设备，包括升降加压组件、丝杆调平模组、模板调平盘、基片装载台。升降加压组件内置导向板,丝杆调平模组穿过导向板与模板调平盘连接，模板调平盘上设有环形沟槽与角度顶珠连接，基片装载台位于下支撑板上。本实用新型提供的纳米压印设备中，通过三个步进电机丝杆组件设置正负位移，带动模板调平盘的角度转动，调节模板和基片之间的平行度，从而提高的纳米压印的质量。
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