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公开(公告)号：CN108982252A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810580967.X
申请日：2018-06-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种双面胶粘性力学行为的温度特性测试装置，包括一金属杆，该金属杆由一支撑结构支撑并可轴向自由移动；该金属杆一端为冲击端，该冲击端与一冲击摆锤相对中；另一端则通过待测双面胶固定一目标加速度计并置于温控箱内；所述金属杆上还设有与目标加速度计间隔开的参考双面胶，并由该双面胶固定一参考加速度计；目标加速度计和参考加速度计分别通过导线连接到一信号放大器，信号放大器通过导线连接到一计算机。本发明还涉及一种新的测试方法。本发明具有使测试简捷和直观的特点。
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公开(公告)号：CN104407173B
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201410723691.8
申请日：2014-12-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提出一种冲击加速度传感器交叉轴响应的空间分波测试方法，采用具有一定长径比金属杆，有利于实现扭转波和纵波的自动分离，从而使扭转波不对主波产生影响，排除了非本征的干扰因素，获得器件固有的交叉轴响应；根据纵波和扭转波具有不同的波速而将两种波在空间上分离开，给出扭转波、纵波和主波在空间上分离的时间判据，排除扭转波等对加速度传感器产生的非本征影响；在测试的过程中选择不同的机械滤波材料，如不同型号的双面胶，对产生的波起到滤波和整形的作用，有利于抑制高频波，消除干扰，有利于对扭转波的识别和分离，又可以获得加速度传感器不同频率下的交叉轴响应。
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公开(公告)号：CN101354284B
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN200810200112.6
申请日：2008-09-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01H13/00
Abstract: 本发明涉及一种高量程压阻加速度器共振频率的测试方法，特征在于利用金属端面之间碰撞产生较高的加速度和频率成份分布丰富的波作为激励源，当激励源中某些频率的波与高量程压阻加速度传感器的固有模态的频率等于或者接近时，器件高量程压阻加速度传感器发生共振，利用共振激发的方式以获得高量程压阻加速度传感器的共振频率：具体是高量程加速度传感器器件的管脚输出与放大器连接，从放大器输出的信号通过电缆线连接到计算机的输入端，记录金属端面之间碰撞过程产生应变波，从对应变波的时域或频域的分析测出共振频率是一种简单、经济、快速的测试方法。
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公开(公告)号：CN110568222B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN201910761795.0
申请日：2019-08-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种冲击型加速度计灵敏度的测试装置，包括：一金属框架，其顶端设有一固定滑环，一细线穿过所述固定滑环，且细线的一端通过一微环与一金属杆的顶端连接，所述金属杆的顶端加工有第一凹口，第一凹口上安装有一待测加速度计，所述金属杆上还设有与该第一凹口间隔开的第二凹口，该第二凹口上安装有一应变计，所述待测加速度计和应变计与一放大器相连，该放大器通过信号线与一计算机相连。本发明还提供一种测试方法。本发明的冲击型加速度计灵敏度的测试装置结合应变计提取金属杆中的应变及该位置处质点的粒子速度或加速度，并以该粒子速度作为依据用以计算待测试加速度计的灵敏度，简洁、高效并具有较高的准确性。
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公开(公告)号：CN110568222A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910761795.0
申请日：2019-08-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种冲击型加速度计灵敏度的测试装置，包括：一金属框架，其顶端设有一固定滑环，一细线穿过所述固定滑环，且细线的一端通过一微环与一金属杆的顶端连接，所述金属杆的顶端加工有第一凹口，第一凹口上安装有一待测加速度计，所述金属杆上还设有与该第一凹口间隔开的第二凹口，该第二凹口上安装有一应变计，所述待测加速度计和应变计与一放大器相连，该放大器通过信号线与一计算机相连。本发明还提供一种测试方法。本发明的冲击型加速度计灵敏度的测试装置结合应变计提取金属杆中的应变及该位置处质点的粒子速度或加速度，并以该粒子速度作为依据用以计算待测试加速度计的灵敏度，简洁、高效并具有较高的准确性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104280569B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201410548950.8
申请日：2014-10-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种抑制横向干扰的三维集成微机械加速度传感器由三个相互独立的加速度传感单元集成为一体，三个方向的信号不会相互耦合干扰，每个方向的加速度信号都能准确地输出提取；Z轴方向的加速度传感单元由相互平行设置的单端固支的固支板和位于固支板固支端的相互垂直的敏感电阻构成，有效地抑制了X轴、Y轴方向的加速度引起的横向干扰；并且通过对敏感结构的关键尺寸进行适当的设计修改，可以获得1万g~20万g的不同量程的具有抑制横向干扰的三维集成微机械加速度传感器；三个方向的加速度传感单元在结构上存在相似之处，在工艺上均为制作微机械加工的常规工艺，在工艺上能够相互兼容，易于集成，制作成本较低，容易实现大规模生产。
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公开(公告)号：CN106443071A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610833591.X
申请日：2016-09-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种噪声可识别的高量程加速度传感器共振频率的提取方法，包括以下步骤：获取待测加速度传感器系统的电噪声频率谱；获取所述待检测加速度传感器系统的冲击频率谱；依据所述冲击频率谱及所述电噪声频率谱确定所述加速度传感器的共振频率。本发明采用两步测试法，分别得到电噪声频率谱和冲击频率谱，通过对电噪声频率谱的识别，可以较为准确地确定加速度传感器的共振频率；本发明在测试的过程中，采用金属杆自由落体与地面金属砧相互碰撞的方法获取较高的加速度，具有操作简单方便的特点；本发明即可以确定加速度传感器的共振频率，又可以确定加速度传感器系统的电噪声。
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公开(公告)号：CN100516882C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200710037952.0
申请日：2007-03-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明涉及一种用波形比较法进行冲击加速度传感器横向响应的测试方法，利用波形比较法，将标准加速度传感器和待测试加速度传感器同时安装到金属杆上，金属杆自由落下与金属砧发生碰撞产生高幅值的冲击加速度，并利用双通道数据采集方式直接记录冲击碰撞过程的输出波形。从时间历程分析上，由两个传感器产生的波同时被记录下来，主冲击波到达前沿能够容易够识别，且其加速度幅值可以确定下来；利用两次冲击过程即可以实现横向和敏感方向灵敏度的测试，通过计算即得到横向响应。本发明具有方便易行、容易识别且可获得冲击过程中敏感方向和非敏感方向的灵敏度，而不需要知道绝对加速度数值，适用于单轴、双轴或三轴加速度传感器与类似器件。
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公开(公告)号：CN110568221B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN201910757111.X
申请日：2019-08-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种加速度计灵敏度的测试装置，包括金属框架，该金属框架的顶端设有固定滑环，细线穿过所述固定滑环，且细线的一端通过一微环与一金属杆的顶端连接，所述金属杆的中部加工有一凹口，所述凹口上安装有待测加速度计和应变计，待测加速度计和应变计与放大器相连，放大器与计算机相连。本发明还提供一种测试方法。本发明的测试装置基于应变计和自由落杆冲击法，设备便于操作，使用方便，且速度可以较为准确得到，将显著提高加速度计灵敏度的测试精度；此外，由于本发明的冲击型加速度计灵敏度的测试装置的凹口加工于金属杆的中部而非两自由端处，因此更适合于平面粘贴型的加速度计的安装与测试，或扁平型加速度计的安装测试。
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公开(公告)号：CN110568221A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910757111.X
申请日：2019-08-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种加速度计灵敏度的测试装置，包括金属框架，该金属框架的顶端设有固定滑环，细线穿过所述固定滑环，且细线的一端通过一微环与一金属杆的顶端连接，所述金属杆的中部加工有一凹口，所述凹口上安装有待测加速度计和应变计，待测加速度计和应变计与放大器相连，放大器与计算机相连。本发明还提供一种测试方法。本发明的测试装置基于应变计和自由落杆冲击法，设备便于操作，使用方便，且速度可以较为准确得到，将显著提高加速度计灵敏度的测试精度；此外，由于本发明的冲击型加速度计灵敏度的测试装置的凹口加工于金属杆的中部而非两自由端处，因此更适合于平面粘贴型的加速度计的安装与测试，或扁平型加速度计的安装测试。
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