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公开(公告)号：CN114336067B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202011050175.5
申请日：2020-09-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种适应强电磁环境的MEMS无线传感装置，所述MEMS无线传感装置包括频率选择超构表面，所述频率选择超构表面包括多个呈阵列周期性排列的单元胞。本发明的MEMS无线传感装置利用人工超构表面灵活的电磁场操控能力，可以实现正常透过无线通信信号，并阻断稳态电磁干扰、瞬态电磁干扰，突破了传统电子设备抑制电磁干扰技术的瓶颈，同时解决强电磁环境下MEMS无线传感装置的可靠性和无线通信的问题。适应超强电磁环境的超构表面集成MEMS无线传感技术可极大地推动电子器件设备的信息化、智能化发展，对我国能源安全、经济社会乃至国家安全都具有重要的意义。
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公开(公告)号：CN115951431B
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202211606843.7
申请日：2022-12-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B1/00
Abstract: 本发明涉及一种用于波长相关的3D光开关的微纳结构，包括：衬底；两条硅纳米柱子链，平行设置在所述衬底上；每条硅纳米柱子链包括高度相同的普通柱和缺陷柱，所述普通柱和缺陷柱排成一列，所述缺陷柱设置在所述硅纳米柱子链末端的第一根和第三根的位置；所述缺陷柱的半径大于所述普通柱的半径。本发明能够在不同的输入光相位下进行3D光链路的开关调制，并在不同波长下表现出相反的开关特性。
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公开(公告)号：CN116804776A
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202310521559.8
申请日：2023-05-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种折射光学元件与超表面复合构型的光学器件，光学器件由折射光学元件和超表面级联构成，折射光学元件在目标工作波段内的至少一个波长上的相位分布满足光学器件的成像要求，超表面的相位分布使超表面对折射光学元件在目标工作波段内的色差进行校正，使得在目标工作波段内的不同波长下的电磁波通过光学器件后的相位分布同时满足光学器件的成像要求。本发明的光学器件将折射光学元件与超表面级联成一体，从而实现光学系统的轻量化、集成化要求，同时突破口径与带宽相互制约的瓶颈，能满足实际应用中的口径和带宽要求。
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公开(公告)号：CN111258059B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202010069442.7
申请日：2020-01-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种柔性手机摄像头光学镜片，包括柔性衬底、设于其表面上的微纳结构超表面和设于其后端的偏振片，微纳结构超表面为微纳结构单元的周期性阵列，不同微纳结构单元具有相同的尺寸和不同的指向角度，指向角度根据所需的电磁波通过各微纳结构单元后的相位累积以及相位累积与指向角度的对应关系相应确定。本发明还提供该光学镜片的制作方法。本发明的光学镜片通过将微纳结构超表面与柔性衬底结合，不仅能实现光学聚焦功能，还能弯曲折叠，且展开后不影响其光学性能，解决了手机摄像头传统光学镜片依赖于表面形状的问题，为手机摄像头光学镜片不可折叠的问题提供了一种解决方案，以满足柔性屏手机对可弯曲折叠的手机摄像头光学镜片的需求。
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公开(公告)号：CN118363285A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202310068543.6
申请日：2023-01-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种波长复用的全息图超表面，其由多个亚波长尺度的功能基元在平面上有序排布形成，每个功能基元由衬底材料与所述衬底材料的第一表面上的纳米柱组成；每个功能基元的结构是中心对称的且其纳米柱为根据编码矩阵得到的多边形柱，且所述功能基元包括多种构型，不同构型的功能基元具有相同的衬底尺寸、相同的纳米柱的高度和不同的纳米柱截面的几何形状，以形成随机对称多边形编码型功能基元；波长复用的全息图超表面中所分布的各功能基元的构型根据全息图超表面的相位分布确定。本发明还提供相应的制作方法。本发明的超表面及其制作方法能兼顾功能基元构型的多样性与随机性，提高透过率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115864894A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202111116370.8
申请日：2021-09-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明提供一种压电薄膜换能电路。包括：压电薄膜换能器，转换电路拓扑，振动能量转换组件。其中，压电薄膜换能器将振动能转换为交流电能，通过换能电路拓扑及振动能量转换组件将交流电能转换为直流电能。本发明的压电薄膜换能电路用于给负载供电，同时切换储能元件的充放电状态，提升了振动能量的转换能力，降低了化学电池使用，减少耗能，提升了电子产品的使用寿命和可靠性。
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公开(公告)号：CN113740939B
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202111128857.8
申请日：2021-09-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种无序功能基元构型的光学器件，包括沿电磁波传播方向依次设置的衬底和无序功能基元的非周期微纳结构阵列，所述衬底的表面为平面或曲面，无序功能基元的非周期微纳结构阵列是多个具有无序的内部结构的功能基元在平面或曲面上非周期分布而形成的微纳结构阵列；光学器件中所分布的各功能基元的内部结构根据光学器件的相位分布确定。本发明的光学器件以无序结构作为功能基元，一方面消除基于同质材料的规则构型的功能基元之间的强耦合现象，另一方面利用无序结构的随机性和多样性，增加光学器件的设计自由度，拓展功能基元参数空间，从而显著提高光场调控能力和光学器件性能。
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公开(公告)号：CN114861520A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210303479.0
申请日：2022-03-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种宽频光学器件的逆设计方法，包括：利用电磁仿真软件批量计算数万组结构基元的向量相位分布的样本库；搭建改进版的生成对抗网络，所述生成对抗网络的由生成器和判别器组成；利用样本库来训练生成对抗网络；由智能算法确定目标光学器件的各个位置的目标向量相位分布；利用生成器生成各个位置的目标向量相位分布所对应的结构基元，然后将各个位置的结构基元组合，得到目标光学器件的超表面结构。本发明的设计方法结合生成对抗网络和智能算法，不仅改善了光学器件逆向设计的耗时低效，同时也保证了生成样本的多样性，为高性能、多功能的超表面光学器件的设计提供了新方案，可更大概率的避免陷入局部最优。
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公开(公告)号：CN113325496A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110520885.8
申请日：2021-05-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种亚波长天线，其特征在于，包括谐振器和金属衬底，所述谐振器设置于所述金属衬底上，所述谐振器为设有开口的C形环。本发明还涉及一种波长可控的超透镜，包括若干所述的亚波长天线，若干所述亚波长天线基于振幅相位分布物理模型进行空间排列，若干所述亚波长天线的C形环具有不同的开口角度和半径。本发明还涉及一种超透镜设计方法。本发明通过空间排列不同结构参数的全金属亚波长天线，实现了波长操控的动态可切换和变焦超透镜。
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公开(公告)号：CN112408316B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202011314162.4
申请日：2020-11-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种双面超表面结构的制备方法，包括：提供呈镜像关系标记的第一光刻板及第二光刻板，且标记具有正反对准、正反偏移误差测量及下一工艺步骤对准的功能；提供衬底，并将呈镜像关系标记的图形分别转移至衬底两面，得到第一衬底样品；筛选出偏移误差在需求范围内的第一衬底样品，得到合格的第一衬底样品；将合格的第一衬底样品放入下一步骤所用光刻设备中，识别合格的第一衬底样品上具有下一工艺步骤对准功能的标记，并将双面超表面结构图形版图分别转移至合格的第一衬底样品的正反两面，得到第二衬底样品并刻蚀得到双面超表面结构。采用本方法能够成功制作出高精度对准的双面超表面结构，从而提高双面超表面结构的性能。
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