公开(公告)号：CN111999338B

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202010714074.7

申请日：2020-07-22

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李铁 ,  王家钰 ,  王翊

IPC: G01N25/20

Abstract: 本发明涉及一种微型热导气体传感器，包括下盖、以及与所述下盖气密性键合的上盖，所述下盖的上表面设有两个悬浮的热丝组件，其中，每个热丝组件连接一组焊盘；所述上盖的下表面上设有两组依次连接的第一浅槽气道、气道和第二浅槽气道，其中，两个气道分别与两个旁路测试腔室相连，所述两个旁路测试腔室所在的位置与两个所述热丝组件所在的位置相互对应。本发明可以对气体实现分流，避免流动的气体直吹热丝，从而使得整个微型热导气体传感器对流速不敏感，能够有效降低气路流速波动产生的噪声。

公开(公告)号：CN111999338A

公开(公告)日：2020-11-27

申请号：CN202010714074.7

申请日：2020-07-22

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李铁 ,  王家钰 ,  王翊

IPC: G01N25/20

Abstract: 本发明涉及一种微型热导气体传感器，包括下盖、以及与所述下盖气密性键合的上盖，所述下盖的上表面设有两个悬浮的热丝组件，其中，每个热丝组件连接一组焊盘；所述上盖的下表面上设有两组依次连接的第一浅槽气道、气道和第二浅槽气道，其中，两个气道分别与两个旁路测试腔室相连，所述两个旁路测试腔室所在的位置与两个所述热丝组件所在的位置相互对应。本发明可以对气体实现分流，避免流动的气体直吹热丝，从而使得整个微型热导气体传感器对流速不敏感，能够有效降低气路流速波动产生的噪声。