公开(公告)号：CN111855877B

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN201910362630.6

申请日：2019-04-30

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 冯飞 ,  杨雪蕾

IPC: G01N30/60 ,  B01D15/22

Abstract: 本发明提供一种基于MEMS的多固定相微型填充柱结构及其制备方法，基于MEMS的多固定相微型填充柱结构包括：衬底，衬底的表面形成有沿衬底的表面延伸的微沟道，微沟道的一端为入口端，另一端为出口端；微阻挡柱组件，位于微沟道内，且临近微沟道的出口端；至少一个微筛选柱组件，位于微沟道内，且位于微阻挡柱组件与微沟道的入口端之间。本发明的基于MEMS的多固定相微型填充柱结构及其制备方法通过在微沟道内设置微阻挡柱组件及微筛选柱组件，可以实现固定相自主分段填充，最终实现多种类的混合气体的一次性分离，扩展了色谱柱的使用范围，实现了微型填充柱结构的多功能化。

公开(公告)号：CN111855877A

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN201910362630.6

申请日：2019-04-30

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 冯飞 ,  杨雪蕾

IPC: G01N30/60 ,  B01D15/22

Abstract: 本发明提供一种基于MEMS的多固定相微型填充柱结构及其制备方法，基于MEMS的多固定相微型填充柱结构包括：衬底，衬底的表面形成有沿衬底的表面延伸的微沟道，微沟道的一端为入口端，另一端为出口端；微阻挡柱组件，位于微沟道内，且临近微沟道的出口端；至少一个微筛选柱组件，位于微沟道内，且位于微阻挡柱组件与微沟道的入口端之间。本发明的基于MEMS的多固定相微型填充柱结构及其制备方法通过在微沟道内设置微阻挡柱组件及微筛选柱组件，可以实现固定相自主分段填充，最终实现多种类的混合气体的一次性分离，扩展了色谱柱的使用范围，实现了微型填充柱结构的多功能化。

公开(公告)号：CN210894237U

公开(公告)日：2020-06-30

申请号：CN201920617680.X

申请日：2019-04-30

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 冯飞 ,  杨雪蕾

IPC: G01N30/60 ,  B01D15/22

Abstract: 本实用新型提供一种基于MEMS的多固定相微型填充柱结构，基于MEMS的多固定相微型填充柱结构包括：衬底，衬底的表面形成有沿衬底的表面延伸的微沟道，微沟道的一端为入口端，另一端为出口端；微阻挡柱组件，位于微沟道内，且临近微沟道的出口端；至少一个微筛选柱组件，位于微沟道内，且位于微阻挡柱组件与微沟道的入口端之间。本实用新型的基于MEMS的多固定相微型填充柱结构通过在微沟道内设置微阻挡柱组件及微筛选柱组件，可以实现固定相自主分段填充，最终实现多种类的混合气体的一次性分离，扩展了色谱柱的使用范围，实现了微型填充柱结构的多功能化。