公开(公告)号：CN102323738A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN201110203006.5

申请日：2011-07-20

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 吴亚明 ,  徐静 ,  张志强 ,  李绍良

IPC: G04F5/14

Abstract: 本发明涉及一种槽型原子气体腔及其构造的原子钟物理系统。所述的槽型原子气体腔由设有槽的硅片和Pyrex玻璃片键合围成腔体结构构成；该腔体结构用于充入碱金属原子蒸汽和缓冲气体；所述槽的横截面为倒梯形，该槽包括底面和与底面成夹角的侧壁。所述的槽型原子气体腔基于MEMS技术制造，由 单晶硅片通过硅各向异性腐蚀形成硅槽，并通过硅-玻璃阳极键合制作槽型腔，槽型气体腔的侧壁为硅片的{111}晶面。本发明的优点是利用所述的槽型原子气体腔，通过原子腔体尺寸设计易于增加腔内两反射镜之间的距离，从而增加了激光与原子气体间的相互作用空间长度，使相干布局囚禁效应（Coherentpopulationtrapping,CPT）信号的信噪比增强，有利于提高微型CPT原子钟频率稳定度。

公开(公告)号：CN102205941A

公开(公告)日：2011-10-05

申请号：CN201110107167.4

申请日：2011-04-27

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 吴亚明 ,  张志强 ,  李绍良 ,  徐静

IPC: B81B7/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及一种基于微机电系统(MEMS)制造工艺的微型原子腔气密性封装结构与方法。其特征在于应用MEMS工艺制作的微型原子腔通过支撑结构放置于玻璃或金属密封缓冲腔中，改善微型原子腔的气密性，从而提高基于微型原子腔的器件如微型原子钟等的寿命和稳定性。本发明的关键在于玻璃或金属缓冲腔结构，缓冲腔内抽真空或充入与微型原子腔内气体成分、压强接近的缓冲气体，微型原子腔器件引线穿过缓冲腔实现气密性引出。这种封装结构及方法能够有效降低微型原子腔与外界的泄漏率，解决了微型原子腔器件的寿命短的技术问题。本发明所涉及的气密封装结构，特别适合在低功耗、微小体积的微型原子钟、微型原子磁强计、微型原子陀螺仪等微型原子腔器件的应用。

公开(公告)号：CN102323738B

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201110203006.5

申请日：2011-07-20

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 吴亚明 ,  徐静 ,  张志强 ,  李绍良

IPC: G04F5/14

Abstract: 本发明涉及一种采用MEMS工艺制作的槽型原子气体腔及其构造的原子钟物理系统。所述的槽型原子气体腔由设有槽的硅片和Pyrex玻璃片键合围成腔体结构构成；该腔体结构用于充入碱金属原子蒸汽和缓冲气体；所述槽的横截面为倒梯形，该槽包括底面和与底面成夹角的侧壁。所述的槽型原子气体腔基于MEMS技术制造，由 单晶硅片通过硅各向异性腐蚀形成硅槽，并通过硅-玻璃阳极键合制作槽型腔，槽型气体腔的侧壁为硅片的{111}晶面。本发明的优点是利用所述的槽型原子气体腔，通过原子腔体尺寸设计易于增加腔内两反射镜之间的距离，从而增加了激光与原子气体间的相互作用空间长度，使相干布局囚禁效应（Coherent population trapping,CPT）信号的信噪比增强，有利于提高微型CPT原子钟频率稳定度。