基于多层自对准工艺的双栅高频有机晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN116916662A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202311039973.1

    申请日:2023-08-17

    Abstract: 本发明提供一种基于多层自对准工艺的双栅高频有机晶体管,包括自下而上依次堆叠的透明衬底、底部栅极、栅极介质层、自对准源漏接触、有机半导体层、绝缘层、和自对准顶部栅极;自对准源漏接触的底面部分与透明衬底接触,部分与栅极介质层接触,其顶面与有机半导体层接触;自对准源漏接触和所述绝缘层是透明的,自对准源漏接触和所述自对准顶部栅极是以底部栅极作为掩膜进行背面曝光来实现自对准光刻工艺并制作得到的。本发明还提供相应的制备方法。本发明的晶体管在最新的高频平面式有机晶体管基础上将背面曝光和透明材料结合,其源漏接触与上下两个栅极的交叠面积均小于传统光刻,使得器件的工作频率得以提升。

    一种可贴合类器官进行信号采集的神经电极及其制备方法

    公开(公告)号:CN116942168A

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN202311039970.8

    申请日:2023-08-17

    Abstract: 本发明提供一种可贴合类器官进行信号采集的神经电极,包括图案化镂空柔性衬底和图案化镂空柔性封装层彼此贴合而形成的多个旋转对称部分,每个旋转对称部分包括沿着第一方向依次排布的四周边缘部、第一电极固定部、中心电极部和第二电极固定部,所述中心电极部上设有多个平行等间隔且贯穿所述图案化镂空柔性衬底和图案化镂空柔性封装层的第一类栅栏开口,所述旋转对称部分的一侧表面上在第一类栅栏开口以外的位置设有接触电极,所述四周边缘部上设有多个焊盘部,每个接触电极通过一条金属引线连接到一个焊盘部。本申请还提供其制备方法。本发明的神经电极实现了高通道记录,与类脑器官可以较好贴合,并具有高度的生物相容性。

    一种有机场效应晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN118139501A

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN202410261849.8

    申请日:2024-03-07

    Abstract: 本发明涉及一种有机场效应晶体管的制备方法,其包括提供金属图案化结构,其中,在衬底上制备光刻胶,通过一次图案化曝光和二次泛曝光使得光刻胶的部分区域被除去以得到电极支撑结构光刻胶,该电极支撑结构光刻胶为具有负倾角的图案化结构,然后通过单步金属沉积实现源电极、漏电极和栅电极的制备以得到图案化电极;提供半导体薄膜;将半导体薄膜贴附于金属图案化结构上得到悬空结构的有机场效应晶体管。本发明还涉及由上述制备方法得到的有机场效应晶体管。根据本发明的有机场效应晶体管的制备方法,利用光刻胶进行两次曝光后形成的负倾角图案化结构,通过单步金属沉积实现电极制备,无需两次金属沉积即可完成悬空结构的有机场效应晶体管的构建。

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