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公开(公告)号：CN102179000B
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201110056408.7
申请日：2011-03-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A61N1/05
Abstract: 本发明公开了一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法，该方法利用热解图形化光刻胶形成的碳膜作为导电层，结合聚合物包覆形成绝缘层制作柔性神经微电极。相比传统的基于贵金属(如铂、金、铱等)的柔性神经微电极，基于碳膜的柔性神经微电极具有更好的电化学稳定性和生物相容性，且易于通过光刻和微纳压印等手段制作三维高比表面积的电极位点，可大大提高电极的电荷注入能力和生物安全性，有助于实现植入式神经微电极的长期安全、有效、可靠和高分辨率的刺激效果。且该电极制作方法与基于金属的微电极制作方法相比，具有工艺简单、成本低、可重复性强，设计灵活的优势。
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公开(公告)号：CN101912666B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201010256117.8
申请日：2010-08-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)的柔性植入式神经微电极及制作方法，其特征在于所述的电极以具有良好生物相容性和机械弹性的PDMS作为神经微电极的基底材料，通过电镀、PDMS注模和键合工艺，制作形成包含一个电极位点区域、一个连接线区域、一个焊接点区域和一个微管道区域的植入式柔性神经微电极。其中电极位点、连接线和焊接点结构由电镀金属层形成，增强了PDMS微电极金属结构的抗拉伸性能和可靠性；电极上集成的微管道则可用于灌注含药物或神经生长因子的可固化液体材料，以改善PDMS神经微电极手术植入的可操控性和植入后的生物相容性。同时，本发明提供的PDMS微电极制备方法具有工艺简单、成本低以及可标准化大批量制作的特点。
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公开(公告)号：CN101912666A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010256117.8
申请日：2010-08-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)的柔性植入式神经微电极及制作方法，其特征在于所述的电极以具有良好生物相容性和机械弹性的PDMS作为神经微电极的基底材料，通过电镀、PDMS注模和键合工艺，制作形成包含一个电极位点区域、一个连接线区域、一个焊接点区域和一个微管道区域的植入式柔性神经微电极。其中电极位点、连接线和焊接点结构由电镀金属层形成，增强了PDMS微电极金属结构的抗拉伸性能和可靠性；电极上集成的微管道则可用于灌注含药物或神经生长因子的可固化液体材料，以改善PDMS神经微电极手术植入的可操控性和植入后的生物相容性。同时，本发明提供的PDMS微电极制备方法具有工艺简单、成本低以及可标准化大批量制作的特点。
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公开(公告)号：CN102179000A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201110056408.7
申请日：2011-03-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A61N1/05
Abstract: 本发明公开了一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法，该方法利用热解图形化光刻胶形成的碳膜作为导电层，结合聚合物包覆形成绝缘层制作柔性神经微电极。相比传统的基于贵金属(如铂、金、铱等)的柔性神经微电极，基于碳膜的柔性神经微电极具有更好的电化学稳定性和生物相容性，且易于通过光刻和微纳压印等手段制作三维高比表面积的电极位点，可大大提高电极的电荷注入能力和生物安全性，有助于实现植入式神经微电极的长期安全、有效、可靠和高分辨率的刺激效果。且该电极制作方法与基于金属的微电极制作方法相比，具有工艺简单、成本低、可重复性强，设计灵活的优势。
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公开(公告)号：CN101599609A
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200910055102.2
申请日：2009-07-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种柔性器件的互连方法及所用的柔性连结器。其特征在于柔性器件的互连方法包括步骤：a)按照柔性器件的尺寸制作具有通孔特征焊接位点的柔性连接器；b)将柔性连接器的通孔焊接位点与待连接柔性器件的焊接位点对准并贴合，于焊接位点处点涂导电胶实现连接导通；c)于焊接位点处涂覆或者沉积聚合物将连接处绝缘封装。所述的柔性连接器为长条形薄膜，具有聚合物－金属－聚合物层三层结构；两端为金属层暴露的焊接位点或连接位点，中间为包埋的金属连接线。提供的基于柔性聚合物材料的微电极连接器具有与传统的微机电加工工艺兼容、可标准化大批量制作的特点。保证柔性器件与设备或者柔性器件之间的有效连接与信号传输，解决柔性器件连接的可靠性的问题。
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