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公开(公告)号：CN105206542A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201510551281.4
申请日：2015-09-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/60 , H01L23/522
CPC classification number: H01L28/10
Abstract: 本发明涉及一种高品质因数电感制造方法，包括以下步骤：提供一硅基板，在所述硅基板正反两面沉积掩膜层后在该硅基板正面的掩膜层上形成腐蚀窗口；沿所述腐蚀窗口形成位于该硅基板内的深坑结构；旋涂聚合物形成隔离层，该隔离层覆盖所述深坑结构并高出硅基板正面；在所述隔离层上形成第一层金属图形；在步骤C之后获得的结构上旋涂介质层并图形化，形成暴露部分第一层金属图形的通孔；在步骤D之后获得的结构上形成第二层金属图形；使得部分第二层金属图形通过所述通孔与第一层金属图形接触以形成电感。本发明采用湿法腐蚀工艺先腐蚀出深槽结构，然后旋涂并固化有机介质层，最后在深槽结构上制作电感线圈，从而抑制硅基板损耗，提高电感Q值。
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公开(公告)号：CN1184706C
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN02111059.X
申请日：2002-03-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: H01M4/136 , H01M4/1397 , H01M4/58 , H01M10/0525 , H01M2004/028
Abstract: 本发明涉及一种用球磨法制备锂金属氮化物，它用作锂电池负极材料，其特征在于在惰性气体下将氮化锂粉末和金属粉末按Li3-XMXN通式配比混合均匀，置于高能球磨机容器中，容器内充有保护气体，O型圈密封，控制高能球磨机转速400-600转/分，时间5-20小时而制备的，Li3-XMXN中M是元素周期表中IIIA、IVA和VA族、过渡金属元素中一种或多种，至少含有Co、Cu、Ni中的一种，按本发明提供的球磨法制备的锂金属氮化物材料比容量明显高于通常值，可达720m·Ah/g以上，而且循环性能优良，是理想的锂离子电池替代的负极材料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1371139A
公开(公告)日：2002-09-25
申请号：CN02111059.X
申请日：2002-03-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: H01M4/136 , H01M4/1397 , H01M4/58 , H01M10/0525 , H01M2004/028
Abstract: 本发明涉及一种用球磨法制备锂金属氮化物,它用作锂电池负极材料,其特征在于在惰性气体下将氮化锂粉末和金属粉末按Li3－XMXN通式配比混合均匀,置于高能球磨机容器中,容器内充有保护气体,O型圈密封,控制高能球磨机转速400－600转/分,时间5－20小时而制备的,Li3－XMXN中M是元素周期表中IIIA、IVA和VA族、过渡金属元素中一种或多种,至少含有Co、Cu、Ni中的一种,按本发明提供的球磨法制备的锂金属氮化物材料比容量明显高于通常值,可达720m·Ah/g以上,而且循环性能优良,是理想的锂离子电池替代的负极材料。
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公开(公告)号：CN1402366A
公开(公告)日：2003-03-12
申请号：CN02112180.X
申请日：2002-06-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01M4/36
Abstract: 一种锂离子电池负极用高比容量的硅碳复合材料及制备方法，属于锂离子电池领域。其特征在于所述的复合材料由含硅类储锂材料作为主要活性物质存在于复合材料中，以及具有储锂容易、可逆嵌脱锂性能的碳作为活性材料的分散载体，复合材料通式为Si－C－X，活性物质与分散载体高温固相反应后含硅活性材料的含量为10％－50％(wt)，制备出的复合负极材料的比容量大大高于目前普通使用的碳类负极材料，循环寿命远优于合金体系，可望在电动车等方面具有潜在应用前景。
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公开(公告)号：CN1242502C
公开(公告)日：2006-02-15
申请号：CN03116070.0
申请日：2003-03-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种锂离子电池负极用铝硅合金/碳复合材料及制备方法。其特征在于硅、铝合金中，硅/铝比例在1∶1～5∶1之间，高温固相反应后硅铝活性材料在复合材料中的含量为10～50wt%。所述分散载体是由通过高温裂解得到的裂解碳和石墨粉体构成，其中石墨粉体分散于裂解碳中；石墨粉体与硅铝合金粉体的质量比为2∶3。其制备方法是采用二步烧结法，先制备铝、硅合金，然后再将有机聚合物裂解，石墨粉加入其中后再加入反应的铝、硅合金，形成浆料，最后在密封体系中升温反应，温度为600-1000℃，时间60-300min，制备的复合材料首次可逆容量最高超过700mAh/g，经25次循环后容量仍保持在90%以上。
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公开(公告)号：CN1199300C
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN02112180.X
申请日：2002-06-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01M4/36
Abstract: 一种锂离子电池负极用的硅碳复合材料及制备方法，属于锂离子电池领域。其特征在于所述的复合材料由含硅类储锂材料作为主要活性物质存在于复合材料中，以及具有储锂容易、可逆嵌脱锂性能的碳作为活性材料的分散载体，活性物质与分散载体高温固相反应后含硅活性材料的含量为10%-50%(wt)，制备出的复合负极材料的比容量大大高于目前普通使用的碳类负极材料，循环寿命远优于合金体系，可望在电动车等方面具有潜在应用前景。
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公开(公告)号：CN1442916A
公开(公告)日：2003-09-17
申请号：CN03116070.0
申请日：2003-03-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种锂离子电池负极用铝硅合金/碳复合材料及制备方法。其特征在于硅、铝合金中，硅/铝比例在1∶1～5∶1之间，高温固相反应后硅铝活性材料在复合材料中的含量为10～50wt％。所述分散载体的碳和石墨粉体分散于裂解碳形成的碳基体；石墨粉体与硅铝合金粉体的质量比为2∶3。其制备方法是采用二步烧结法，先制备铝、硅合金，然后再将有机聚合物裂解，石墨粉加入其中后再加入反应的铝、硅合金，形成浆料，最后在密封体系中升温反应，温度为600－1000℃，时间60－300min，制备的复合材料首次可逆容量最高超过700mAh/g，经25次循环后容量仍保持在90％以上。
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