公开(公告)号：CN113311096B

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202110719416.9

申请日：2021-06-28

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 冯飞 ,  刘启勇

IPC: G01N30/68

Abstract: 本发明提供一种氦离子化检测器及其制备方法，包括衬底、激发电极对、进气管、偏置电极及收集电极；衬底中具有腔室，腔室包括激发电极沟道、进气沟道及出气沟道，激发电极沟道与出气沟道相连通构成第一交汇区，进气沟道与出气沟道相连通构成第二交汇区；激发电极对的激发电极区位于第一交汇区；进气管为具有相同形貌且相向设置的第一进气管及第二进气管，可向第二交汇区提供具有相同压强的辅助载气及样品载气；偏置电极及收集电极位于出气沟道中，且设置于第二交汇区外侧远离第一交汇区处。本发明可在腔室中形成高压“准零流速区”，有利于激发氦等离子体，且此区域氦气流速极低，有利于稳定氦等离子体基团，进而可降低基线噪声。

公开(公告)号：CN113311096A

公开(公告)日：2021-08-27

申请号：CN202110719416.9

申请日：2021-06-28

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 冯飞 ,  刘启勇

IPC: G01N30/68

Abstract: 本发明提供一种氦离子化检测器及其制备方法，包括衬底、激发电极对、进气管、偏置电极及收集电极；衬底中具有腔室，腔室包括激发电极沟道、进气沟道及出气沟道，激发电极沟道与出气沟道相连通构成第一交汇区，进气沟道与出气沟道相连通构成第二交汇区；激发电极对的激发电极区位于第一交汇区；进气管为具有相同形貌且相向设置的第一进气管及第二进气管，可向第二交汇区提供具有相同压强的辅助载气及样品载气；偏置电极及收集电极位于出气沟道中，且设置于第二交汇区外侧远离第一交汇区处。本发明可在腔室中形成高压“准零流速区”，有利于激发氦等离子体，且此区域氦气流速极低，有利于稳定氦等离子体基团，进而可降低基线噪声。

公开(公告)号：CN215678242U

公开(公告)日：2022-01-28

申请号：CN202121443375.7

申请日：2021-06-28

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 冯飞 ,  刘启勇

IPC: G01N30/68

Abstract: 本实用新型提供一种氦离子化检测器，包括衬底、激发电极对、进气管、偏置电极及收集电极；衬底中具有腔室，腔室包括激发电极沟道、进气沟道及出气沟道，激发电极沟道与出气沟道相连通构成第一交汇区，进气沟道与出气沟道相连通构成第二交汇区；激发电极对的激发电极区位于第一交汇区；进气管为具有相同形貌且相向设置的第一进气管及第二进气管，可向第二交汇区提供具有相同压强的辅助载气及样品载气；偏置电极及收集电极位于出气沟道中，且设置于第二交汇区外侧远离第一交汇区处。本实用新型可在腔室中形成高压“准零流速区”，有利于激发氦等离子体，且此区域氦气流速极低，有利于稳定氦等离子体基团，进而可降低基线噪声。