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公开(公告)号：CN113363148B
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202110629373.5
申请日：2021-06-07
Applicant: 中国人民解放军国防科技大学
IPC: H01L21/304
Abstract: 本发明公开一种基于蓝宝石衬底的石墨烯薄膜切割方法，该方法在切割之前，先使用PMMA对石墨烯晶圆进行预处理，再对石墨烯晶圆使用EBL完成对石墨烯晶圆的赋型并暴露切割轨迹，然后去除PMMA涂层和切割轨迹上的石墨烯，最后按切割轨迹对石墨烯晶圆进行切割。本发明提供的方法对石墨烯晶圆进行EBL刻蚀，破坏了PMMA和石墨烯在被切割部位的粘着性，使得在切割过程中目标区域的石墨烯可保持其完整的性能，该方法可以实现对基于蓝宝石衬体的单层石墨烯高效低损的切割，可应用于大规模石墨烯器件制备过程。
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公开(公告)号：CN108232462A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810037414.X
申请日：2018-01-16
Applicant: 中国人民解放军国防科技大学
IPC: H01Q15/00
CPC classification number: H01Q15/0086
Abstract: 本发明提供了具有调制器和慢光功能的太赫兹超材料，包括金属电极以及超材料本体，所述超材料本体由带绝缘层的衬底以及设置在衬底其绝缘层上的金属谐振单元和石墨烯条组成，通过金属电极对超材料本体外加偏压进而调节石墨烯费米能级能够实现太赫兹电磁波透过率以及慢光效应的调控。本发明解决了超材料中明暗模谐振结构互耦强度调控问题，从而实现太赫兹波空间调制。同时，利用类电磁诱导透明产生的强色散特性，产生电磁波群延时，实现慢光功能，并能够通过外加偏压改变石墨烯的费米能级对慢光效应进行调控。在调制的过程中，主要改变透明峰值频点的透波情况，而不影响其他频点的情况，可以有效避免可能的调制噪声。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107611622A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201710893962.8
申请日：2017-09-27
Applicant: 中国人民解放军国防科技大学
IPC: H01Q17/00
Abstract: 针对复杂电磁环境下的隐身及电磁兼容问题，本发明提出了一种通带可控的双边频宽带吸波体。吸波体由多个呈阵列排布的周期性单元结构组成；周期性单元结构包括电控开关屏、周期阻抗层以及泡沫层，周期阻抗层、电控开关屏分别设置在泡沫层的上下侧，所述泡沫层支撑在电控开关屏与周期阻抗层之间将两者分隔开。本发明通过电控开关屏背面的馈电网络控制二极管的工作状态，从而改变电控开关屏的结构，实现带通与全反射之间的切换。本发明能实现对工作频带两侧的探测及干扰信号吸收，并对工作频带内的传输窗口进行电控，使其在正常环境下打开窗口不影响信号收发，而在复杂电磁环境中关闭窗口。
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公开(公告)号：CN108232462B
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201810037414.X
申请日：2018-01-16
Applicant: 中国人民解放军国防科技大学
IPC: H01Q15/00
Abstract: 本发明提供了具有调制器和慢光功能的太赫兹超材料，包括金属电极以及超材料本体，所述超材料本体由带绝缘层的衬底以及设置在衬底其绝缘层上的金属谐振单元和石墨烯条组成，通过金属电极对超材料本体外加偏压进而调节石墨烯费米能级能够实现太赫兹电磁波透过率以及慢光效应的调控。本发明解决了超材料中明暗模谐振结构互耦强度调控问题，从而实现太赫兹波空间调制。同时，利用类电磁诱导透明产生的强色散特性，产生电磁波群延时，实现慢光功能，并能够通过外加偏压改变石墨烯的费米能级对慢光效应进行调控。在调制的过程中，主要改变透明峰值频点的透波情况，而不影响其他频点的情况，可以有效避免可能的调制噪声。
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公开(公告)号：CN107611622B
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN201710893962.8
申请日：2017-09-27
Applicant: 中国人民解放军国防科技大学
IPC: H01Q17/00
Abstract: 针对复杂电磁环境下的隐身及电磁兼容问题，本发明提出了一种通带可控的双边频宽带吸波体。吸波体由多个呈阵列排布的周期性单元结构组成；周期性单元结构包括电控开关屏、周期阻抗层以及泡沫层，周期阻抗层、电控开关屏分别设置在泡沫层的上下侧，所述泡沫层支撑在电控开关屏与周期阻抗层之间将两者分隔开。本发明通过电控开关屏背面的馈电网络控制二极管的工作状态，从而改变电控开关屏的结构，实现带通与全反射之间的切换。本发明能实现对工作频带两侧的探测及干扰信号吸收，并对工作频带内的传输窗口进行电控，使其在正常环境下打开窗口不影响信号收发，而在复杂电磁环境中关闭窗口。
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公开(公告)号：CN113363148A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202110629373.5
申请日：2021-06-07
Applicant: 中国人民解放军国防科技大学
IPC: H01L21/304
Abstract: 本发明公开一种基于蓝宝石衬底的石墨烯薄膜切割方法，该方法在切割之前，先使用PMMA对石墨烯晶圆进行预处理，再对石墨烯晶圆使用EBL完成对石墨烯晶圆的赋型并暴露切割轨迹，然后去除PMMA涂层和切割轨迹上的石墨烯，最后按切割轨迹对石墨烯晶圆进行切割。本发明提供的方法对石墨烯晶圆进行EBL刻蚀，破坏了PMMA和石墨烯在被切割部位的粘着性，使得在切割过程中目标区域的石墨烯可保持其完整的性能，该方法可以实现对基于蓝宝石衬体的单层石墨烯高效低损的切割，可应用于大规模石墨烯器件制备过程。
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公开(公告)号：CN207250729U
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201721254692.8
申请日：2017-09-27
Applicant: 中国人民解放军国防科技大学
IPC: H01Q17/00
Abstract: 针对复杂电磁环境下的隐身及电磁兼容问题，本实用提出了一种通带可控的双边频宽带吸波体。吸波体由多个呈阵列排布的周期性单元结构组成；周期性单元结构包括电控开关屏、周期阻抗层以及泡沫层，周期阻抗层、电控开关屏分别设置在泡沫层的上下侧，所述泡沫层支撑在电控开关屏与周期阻抗层之间将两者分隔开。本实用通过电控开关屏背面的馈电网络控制二极管的工作状态，从而改变电控开关屏的结构，实现带通与全反射之间的切换。本实用能实现对工作频带两侧的探测及干扰信号吸收，并对工作频带内的传输窗口进行电控，使其在正常环境下打开窗口不影响信号收发，而在复杂电磁环境中关闭窗口。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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